HOOL L61200A 300mm通用組合水平式檢測干涉儀
- 公司名稱 冠乾科技（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HOOL L61200A
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/8/18 11:44:24
- 訪問次數(shù) 880
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| 產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,航天,汽車 |
（1）應用領域
●光學平面計量
●半導體晶圓
●半導體掩膜版基板
●同步輻射
●光刻機光學元件
●航空航天折返成像系統(tǒng)
●空間光學器件
●強激光平板玻璃測量等
實現(xiàn)大口徑光學表面面形、透射波前、光學均勻性等參數(shù)的檢測。
（2）產品綜述
300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產品之一。它采用經典的斐索型共光路設計，結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測。
慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實現(xiàn)了干涉測量技術從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國內制造業(yè)和國家質檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。
（3）參數(shù)性能
測量原理： | 斐索干涉原理 |
光源波長： | 632.8nm（穩(wěn)頻氦氖激光器）/633nm(波長調諧激光器） |
樣品準直： | 雙光點對準，對準角±3度 |
電源: | AC 220V 50HZ |
操作系統(tǒng)： | Windows系統(tǒng)，銀河麒麟操作系統(tǒng) |
CCD分辨率： | 1024*1024像素 2048*2048像素 |
軟件： | HL 數(shù)字化相移分析軟件 |
精密度： | ≤入/600 |
PV測量重復性： | ≤入/600 |
RMS測量重復性： | ≤入/8000 |
| RMS波前重復性： | ≤入/1800 |
透射平面鏡精度： | A/20 PV |
◆材質均勻性
◆超精密平面/球面面形測量
◆光學系統(tǒng)裝調和校準
◆光學組件透射波前測量
◆光學均勻性測量
◆平行度測量
◆角錐角度測量
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部分客戶群體：蘇州計量院,上海計量院,福建計量院,上海光機所,石家莊13所,上?，F(xiàn)代*進超精密制造中心有限公司UPEC,長春理工,上海理工等。
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