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FPBIO-MS10-100TM 微流控芯片光刻機(jī)
- 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPBIO-MS10-100TM
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2021/12/24 11:15:11
- 訪問次數(shù) 1432
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,冶金,電氣 |
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微流控芯片光刻機(jī)采用多功能一體化設(shè)計(jì)理念,一臺(tái)光刻機(jī)具有六個(gè)傳統(tǒng)單一的表面刻劃?rùn)C(jī)器的功能,而且不需要無(wú)塵環(huán)境,用戶安裝使用不再需要單獨(dú)建設(shè)超凈間,從而大大提高用戶的使用經(jīng)濟(jì)性和方便性。
微流控芯片光刻機(jī)特色
可以根據(jù)用戶的芯片襯底基片尺寸,形狀和厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
具有技術(shù)突破性設(shè)計(jì)和靈活性優(yōu)勢(shì),非常適合加工微納結(jié)構(gòu)用于MEMS,BioMEMS,微流控系統(tǒng),傳感器,光學(xué)元件,MicroPatterning微圖案化,實(shí)驗(yàn)室單芯片,CMOS傳感器和所有其他需要微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。
無(wú)掩模光刻系統(tǒng)可以快速而輕松地做出許多種微圖案結(jié)構(gòu),從zui jian dan到非常復(fù)雜的都可以。它的寫入磁頭裝備有一個(gè)激光二極管(波長(zhǎng)405納米- 50毫瓦),光學(xué)掃描器和F-θ透鏡(405納米)。激光束根據(jù)設(shè)定微結(jié)構(gòu)圖案而運(yùn)動(dòng)。
為了方便使用,較好的再現(xiàn)性和較高的質(zhì)量,焦距是可以根據(jù)基片厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)的。圖像采集期間可以使用控制面板調(diào)節(jié)焦距。幾個(gè)基片厚度都可以使用。
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