氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場(chǎng)合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

l 產(chǎn)品特點(diǎn)

l 經(jīng)濟(jì)適用

l 超低功耗

l 高集成度緊湊型設(shè)計(jì)

l 多種氣體校準(zhǔn)

l RJ45（網(wǎng)口）通用接口

l 數(shù)字控制和模擬控制雙模式

l 標(biāo)準(zhǔn)RS485 Modbus RTU通信協(xié)議

l 模擬輸入1-5V/模擬輸出1-5V

l 采用進(jìn)口高精度傳感器

l 采用進(jìn)口比例閥控制

l 模糊PID算法，可更改PID控制參數(shù)

l 內(nèi)置環(huán)境氣壓傳感器

l 內(nèi)置環(huán)境溫度傳感器

l 高重復(fù)性

l 低溫度漂移

l 控制參數(shù)自整定功能

l 具有自動(dòng)調(diào)零功能

l 電路防浪涌設(shè)計(jì)

l 具有故障報(bào)警功能

l 技術(shù)特點(diǎn)

l  微處理器控制

MFC內(nèi)部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實(shí)現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速精確的流量控制。

l  RS-485總線接口

MFC內(nèi)置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式。可通過(guò)RS-485總線組網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)多臺(tái)MFC同時(shí)控制。

l  便捷標(biāo)定方法

可通過(guò)專用標(biāo)定軟件對(duì)MFC進(jìn)行標(biāo)定，只需將MFC通過(guò)RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。

l  緊湊的外形尺寸

MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時(shí)，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時(shí)能夠集成更多的功能模塊。

l  多氣體多量程選擇

MFC可選擇多種氣體種類（H2、N2、Air、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊(cè)及使用需求進(jìn)行操作選擇。同時(shí)，本公司提供不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選。

l 應(yīng)用范圍

l 氣象色譜儀

l 環(huán)保監(jiān)測(cè)設(shè)備

l 制氣配氣

l CVD材料制備裝置

l 半導(dǎo)體/光伏設(shè)備

l 生物發(fā)酵/醫(yī)療儀器

l 其他實(shí)驗(yàn)室分析儀器

l 技術(shù)參數(shù)

l 外形尺寸      

單位：毫米（mm）

l 接口定義

l 產(chǎn)品選型

感謝您購(gòu)買使用吉思特GT180質(zhì)量流量控制器(MFC)。

本手冊(cè)描述了GT180質(zhì)量流量控制器功能、性能以及使用產(chǎn)品達(dá)到最佳使用效果的應(yīng)用方法。

請(qǐng)?jiān)谑褂迷摦a(chǎn)品時(shí)注意以下事項(xiàng)：

l  在使用該產(chǎn)品前應(yīng)通讀并理解本手冊(cè)以確保正確的使用。

l  使用該產(chǎn)品人員應(yīng)具有基本的電氣系統(tǒng)知識(shí)。

l  請(qǐng)妥善保管本手冊(cè)以確保在需要時(shí)可以隨時(shí)查閱。

注意事項(xiàng)

l  通電期間，請(qǐng)勿觸碰端子。

l  不得讓金屬物體、導(dǎo)線、液體等進(jìn)入控制器，否則引起設(shè)備短路、觸電或火災(zāi)等危險(xiǎn)事件。

l  請(qǐng)勿將本產(chǎn)品置于易燃易爆等場(chǎng)合。

l  絕對(duì)不要拆卸、改裝以及修理該產(chǎn)品或解除任何內(nèi)部元件。

l  請(qǐng)?jiān)O(shè)定適合系統(tǒng)控制使用的產(chǎn)品參數(shù)。如果設(shè)定不當(dāng)，可能會(huì)因意外操作而造成財(cái)產(chǎn)損失或事故。

l  請(qǐng)?jiān)谝?guī)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)該設(shè)備進(jìn)行標(biāo)定，以確保設(shè)備的準(zhǔn)確性。

l  設(shè)備通電前，請(qǐng)確認(rèn)接線是否正確，供電電壓是否符合使用手冊(cè)要求。

l  使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)，須在氣路中加裝過(guò)濾器等。

l  使用前，請(qǐng)確認(rèn)使用氣體是否與標(biāo)定氣體相符，以免導(dǎo)致流量數(shù)據(jù)錯(cuò)誤。

l  請(qǐng)勿使用腐蝕性氣體，以免MFC氣路損壞。

保修與服務(wù)

l  本公司生產(chǎn)的MFC產(chǎn)品在出貨1年以內(nèi)，如果用戶按照使用手冊(cè)正常使用，且產(chǎn)品沒(méi)有遭受物理?yè)p害、污染、改裝或翻新，若有問(wèn)題，免費(fèi)維修。

l  免費(fèi)維修范圍，不包含氣路接頭及氣路接頭密封圈。

l  請(qǐng)收到產(chǎn)品后及時(shí)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行驗(yàn)收，出現(xiàn)問(wèn)題請(qǐng)及時(shí)反饋銷售人員。

l  保修期內(nèi)，產(chǎn)品必須由本公司或授權(quán)的服務(wù)中心修理。

l  用戶使用過(guò)有毒、有污染或腐蝕性氣體的產(chǎn)品，本公司將不負(fù)責(zé)修理或保修。

l  輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn), 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的最大壓力。

l  產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效，由于不正確的使用所導(dǎo)致的損害不能歸咎于本公司。

l  禁止自行拆開(kāi)MFC。如果自行拆卸造成損壞，則本公司承諾的保修無(wú)效。

天津吉思特儀器儀表有限公司