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Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) Centrotherm Activator150
  • 產(chǎn)地 德國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 16:11:06
  • 訪問次數(shù) 1102

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 石油,能源,電子

Centrotherm 高溫退火爐系統(tǒng)-Activator 150

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Centrotherm Activator 150 高溫爐設(shè)計(jì)用于SiCGaN器件注入后退火。Centrotherm*工藝爐管和加熱系統(tǒng)設(shè),允許工藝溫度達(dá)到 1850 ℃。

此外,Activator 150 系列的產(chǎn)品可以實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)石墨烯生長(zhǎng)。通過碳化硅升華生長(zhǎng)石墨層可以獲得高性能器件。

Centrotherm 新一代SiC工藝爐管的研發(fā)用以滿足新興的150 毫米 SiC工藝。

Centrotherm Activator 150-5 是為研發(fā)工作而特制的,而Centrotherm Activator 150-50專為大批量生產(chǎn)設(shè)計(jì)。

廣泛的工藝范圍實(shí)現(xiàn)了對(duì)自定義化程序的優(yōu)化, 例如溫度, 氣路系統(tǒng)和壓力。

 

二、典型應(yīng)用

SiC器件高溫退火 (注入后)

GaN器件退火

大面積石墨烯生長(zhǎng)

SiC表面制備

 

三、產(chǎn)品特性

性能和優(yōu)勢(shì)

高活化

小表面粗糙度

最大溫度可達(dá) 1850 ℃ 

 



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