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MProbe系列 膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進(jìn)guo外*先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅(jiān)持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細(xì)分市場,為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)!我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗(yàn)與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準(zhǔn)時(shí)安全到達(dá)目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價(jià)值觀,昊量光電堅(jiān)持以誠信為基石,憑借高效的運(yùn)營機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價(jià)值,實(shí)現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅(jiān)持價(jià)值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!

 

激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計(jì)數(shù)器,專用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,電子
精度 0.01nm或0.01%

膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)MPROBE - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測厚儀測量厚度可以低至1nm,厚至1.8mm,埃級分辨率,非接觸式無損快速測量。廣泛應(yīng)用在各種生產(chǎn)或研究中,比如測量薄膜太陽能電池的CIGS層,觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量

 

測量原理:當(dāng)規(guī)定波長范圍的光照射到薄膜上時(shí),從不同界面上反射的光相位不同,從而引起干涉導(dǎo)致強(qiáng)度相長或相消。而這種強(qiáng)度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù)。

 

比如:

半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅)

半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS)

微電子機(jī)械(MEMS)

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)

聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

高分子聚合物

 

MProbe膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)操作簡單,只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率(n, k)和表面粗糙度等信息,膜厚測量設(shè)備可支持不同光譜范圍,光譜范圍可達(dá)200-1700nm,因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。 設(shè)備中無移動組件,所以測量結(jié)果幾乎是即時(shí)得到的;TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明,測量歷史、動態(tài)測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結(jié)果。

 

膜厚測量儀分類:

 

1、單點(diǎn)膜厚測量——MPROBE-20

MPROBE-20膜厚測量儀是一款臺式單點(diǎn)膜厚測量設(shè)備,設(shè)備操作簡單,一鍵獲得樣品的厚度和折射率,并可提供不同波段范圍(適用于不同厚度薄膜)選擇。MPROBE-20具有以下幾種型號,客戶可根據(jù)自己所需的波長范圍和薄膜厚度進(jìn)行選擇。

可供選擇型號:

型號

波長范圍

核心配置

厚度范圍

VIS

200nm -1100nm

F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos,  16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp

10nm – 75 μm

UVVISSR

700nm -1100nm

F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp

1nm -75μm

VIS-HR

900nm-1700nm

F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp

1μm-400μm

NIR

200nm-800nm

F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp

50nm – 85μm

UVVisF

200nm -1700nm

F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp

1nm – 5μm

UVVISNIR

1500nm-1550nm

F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp

1nm -75μm

NIRHR

200nm -1100nm

F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption

10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

 

2、單點(diǎn)手持膜厚測量——MPROBE HC

MPROBE HC膜厚測量儀是一款基于MPROBE-20平臺開發(fā)專用于測量曲面和大型零件上的涂層,用手動探針代替樣品臺。

 

主要參數(shù):

精度

0.01nm或0.01%

準(zhǔn)確度

0.2%或1nm

穩(wěn)定性

0.02nm或0.03%

聚焦點(diǎn)尺寸

0.2mm或0.4mm

樣品尺寸

>25mm

厚度范圍

0.05-70um

 

3、聚焦光斑膜厚測量儀——MPROBE 40

MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚測量系統(tǒng),該產(chǎn)品將顯微系統(tǒng)和膜厚測量設(shè)備結(jié)合起來,用于對膜厚的微區(qū)測量,光斑可達(dá)2μm。該設(shè)備集成相機(jī)和軟件,可精確顯示待測位置,并同時(shí)顯示測量結(jié)果。

該設(shè)備有不同波長范圍可選,可供選擇的產(chǎn)品型號如下:

 

4、原位測量膜厚測量儀——MPROBE 50 INSITU

MPROBE 50 INSITU是一款支持原位測量膜厚測量儀,該設(shè)備采用門控?cái)?shù)據(jù)采集方式因此可以在高環(huán)境光的條件下工作。此外該型號膜厚測量儀支持定制以滿足不同形狀的真空腔。根據(jù)可用的光學(xué)窗口,支持斜入射和垂直入射。光線可以聚焦樣品表面或準(zhǔn)直,探測探頭可以放置在沉積室光學(xué)端口內(nèi)部或外部,由于該膜厚測量儀沒有移動部件,通常測量時(shí)間約10ms。

 

 

此外該型號還有多種波段范圍可選,可供選擇型號如下

 

5、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——MPROBE 60

MPROBE 60是一款聚焦并可做mapping的膜厚測量設(shè)備,重復(fù)精度可達(dá)0.01nm,精度可達(dá)1nm,mapping面積可達(dá)300*300mm。并支持多種波長范圍可選。

可選波長型號:

 

6、在線膜厚測量儀——MProbe 70

MProbe 70是一款高性能膜厚測量儀,主要設(shè)計(jì)用于24/7生產(chǎn)線上的連續(xù)測量。該設(shè)備主要有兩種配置一個(gè)是在產(chǎn)線上配備多個(gè)固定的探頭,第二種是將探頭裝在掃描儀上掃描。

 

 

 

 

 



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