Se500adv Sentech增強版激光橢偏儀與干涉膜厚儀
參考價 | ¥ 990000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 北京伊微視科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Se500adv
- 產地 德國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2021/4/19 13:44:12
- 訪問次數 1099
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產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 80萬-100萬 |
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應用領域 | 化工,電子 |
Sentech激光橢偏儀與干涉膜厚儀-Se500adv
SE 500adv結合了橢偏儀和反射儀,除了測量透明膜層厚度的模糊性。它把可測量的厚度擴展到25m,因此SE 500adv擴展了標準激光橢偏儀SE 400adv的能力,特別適用于分析較厚的介質膜、有機材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。
橢偏測量和反射測量的結合允許通過自動識別循環(huán)厚度周期來快速且明確地確定透明膜的厚度。
寬測量范圍
激光橢偏儀和反射儀的結合將透明薄膜的厚度范圍擴展到25μm,更多地取決于光度計的選項。
擴展激光橢偏儀的極限
性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數和膜厚。
測量太陽能電池硅片上的增透膜的厚度和折射率,是生產高性能太陽能電池的先決條件之一。橢偏儀測量因為其快速和非接觸光學測量方法,適合用來測量膜厚和折射率。但是,多晶硅的粗糙表面明顯降低測量效果,甚至根本不能測量。SENTECH公司開發(fā)了高靈敏度和可靠度的632.8 nm單波長橢偏儀,適合分析太陽能電池上的增透膜。高穩(wěn)定性補償器被用來測量反射光的橢偏角并用來證實*測量的橢偏數據的有效性。樣品是不同的多晶硅上的氮化硅減反射膜。該領域的儀器已經能夠測量其膜層的厚度和折射率。
SE 500adv可作為激光橢偏儀、膜厚探針和CER橢偏儀使用。因此,它提供了標準激光橢偏儀從未達到的大靈活性。作為橢偏儀,可以進行單角度和多角度測量。當用作膜厚探針時,在正常入射下測量透明或弱吸收膜的厚度。
SE 500adv中的橢偏測量和反射測量的組合包括橢圓測量光學部件、角度計、組合反射測量頭和自動準直透鏡、樣品臺、氦氖激光光源、激光檢測單元和光度計。
SE 500adv的選項支持在微電子、微系統(tǒng)技術、顯示技術、光伏、化學等領域的應用。
SE 500adv可按三種模式操作,比通用橢偏儀具有更好的靈活性:
橢偏儀模式:用632.8 nm激光測量1到3層膜的光學系數和膜厚
膜厚儀模式:用白光反射干涉原理測量單層或多層的透明或弱吸收膜(膜的光學常數已知)
CER模式:自動識別透明膜的測量周期,可確定透明膜的Cauchy相關系數
可選項:
Mapping自動掃描:50×50~300 × 300 mm2
自動準直: 高度/俯仰自動調節(jié)
自動角度計: (20°) 40° - 90°
微細光斑:直徑30 um
視頻攝像頭:數字Camera
樣品液體池:液體可流動、可加熱
橢偏分析軟件:SpectraRay / 4
標準片各種厚度