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HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

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20年專注引進(jìn)世界科研儀器。


英格海德分析技術(shù)有限公司(Extratech Analytical Ltd.))是世界分析儀器制造商在中國的總代理。公司攜手北京英格海德分析技術(shù)有限公司開展銷售/市場推廣及售后服務(wù),打造優(yōu)良的企業(yè)形象。多年來,我們在客戶中建立了良好的聲譽(yù)。我們的客戶多數(shù)都是工作在新技術(shù)研究的前沿,如催化化學(xué)、氫能研究、等離子體物理、表面科學(xué)、大氣環(huán)境監(jiān)測、半導(dǎo)體材料和微納米測量領(lǐng)域。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。 我們在為客戶提供有價值的儀器設(shè)備的同時,還為他們提供了及時周到的售后服務(wù),讓用戶無后顧之憂,使其專心科研。

公司主營質(zhì)譜儀、智能重量分析儀、高壓氣體吸附儀、催化劑表征系統(tǒng)、等離子體診斷設(shè)備、在線VOC分析質(zhì)譜儀、導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、在線氣體質(zhì)譜儀、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)質(zhì)譜儀、等離子體蝕刻探針和材料加工分析儀器等。

 

 

 

 

在線質(zhì)譜儀,殘余氣體分析儀,重量法吸附儀,高壓吸附儀,蒸汽吸附儀,導(dǎo)熱系數(shù)分析儀,質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行質(zhì)譜儀,電化學(xué)質(zhì)譜儀

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 100萬-150萬
檢測限 5ppb 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,冶金,航天,電氣
質(zhì)量數(shù)范圍 510amu 最小檢測分壓 5E-14 mbar

20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。

20年來,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。

HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點(diǎn):

1、連接件電拋光工藝處理

2、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr

3、高靈敏度三級過濾四極桿

4、檢測限可達(dá) 5 ppb

5、QGA專業(yè)版定量分析軟件



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