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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)> Veritas-300plus掃描電子顯微鏡emcrafts

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Veritas-300plus掃描電子顯微鏡emcrafts

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掃描電子顯微鏡

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北京馳奔儀器有限公司

 

反應(yīng)釜

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應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子

Veritas-300plus掃描電子顯微鏡emcrafts是全數(shù)字化控制,專業(yè)級(jí)電子顯微成像及分析儀器。Veritas-300plus采用大型立方體樣品分析室(分析室可定制),全內(nèi)置五軸優(yōu)中心大行程自動(dòng)樣品臺(tái),為大塊樣品如零部件整體檢測(cè),為微納米尺度操作工具之拓展分析提供多種可能。300PLus具有低真空環(huán)境成像功能,非導(dǎo)電樣品可直接電子顯微成像分析檢測(cè)。
 

 

Veritas-300plus掃描電子顯微鏡emcrafts技術(shù)特征:

1、全數(shù)字控制,專業(yè)級(jí)成像分析電子顯微分析平臺(tái)

2、五軸中心樣品臺(tái),全自動(dòng)控制,高效靈活優(yōu)化電子顯微成像分析效果; 

3、低真空環(huán)境絕緣體可直接觀察

4、容納直徑200mm樣品,重量可達(dá)2kg.

5、一體化設(shè)計(jì),可隨時(shí)移動(dòng)。

 

 

軟件特征:

用戶友好:包含多用戶環(huán)境、一鍵成像、自動(dòng)調(diào)節(jié)、燈絲壽命記錄、遠(yuǎn)程診斷控制;

特殊樣品:動(dòng)態(tài)聚焦(DF)、傾斜補(bǔ)償;

高效拍照:自動(dòng)照相(Auto Imaging);

大圖拼接:連續(xù)視野照片縫合;

信號(hào)探測(cè):支持SE、BSE、STEM同時(shí);

鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作,簡(jiǎn)易快捷。

 

 

 

安裝示意
 

 

【性能指標(biāo)】

 

 

 

 

型號(hào)

Veritas-300plus

樣品臺(tái)

五軸優(yōu)中心,全自動(dòng)

X: 120mm 

Y: 120mm 

Z: 5-65mm

R: 360°無(wú)限 

T: -20°~90°

電子槍

預(yù)對(duì)中鎢燈絲 三極自動(dòng)偏壓

加速電壓

200V-30KV (發(fā)射電流190μA @ 30KV/電子槍功率:5.7W)

探測(cè)器

ET-SED, Semconductor Solid state Bse Detector

物鏡光闌

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可變光闌

分辨率

4nm @30KV ( SEI)    5nm@30KV (Bse Image)

放大倍數(shù)

10-300,000 X

樣品室

內(nèi)部尺寸 230(W)x210(D)x260(H)mm ,Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探測(cè)器接口

樣品尺寸

Φ210mm X 65mm

工作距離

0-65mm 

掃描光柵運(yùn)動(dòng)

電位移 ±50μm, 電旋轉(zhuǎn) 0-360°

掃描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可變

TV模式:800x 600像素 

慢掃描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素

動(dòng)態(tài)聚焦,傾斜補(bǔ)償

圖像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空模式

高真空優(yōu)于9x10-3Pa

低真空范圍 10-230Pa

真空系統(tǒng)

全自動(dòng)真空系統(tǒng),真空高壓連鎖安全保護(hù)(高真空時(shí)間小于3分鐘)

-渦輪分子泵      
-旋片式機(jī)械真空泵    
-電動(dòng)閥門(mén)系統(tǒng):真空閘板閥、電磁閥等    

自動(dòng)功能

亮度/對(duì)比度, 聚焦,   電子槍對(duì)中、偏壓、飽和,物鏡光闌搖擺對(duì)中

軟件系統(tǒng)

基于Win8,Virtuoso1.1控制軟件. 內(nèi)嵌長(zhǎng)度角度面積測(cè)量、圖像編輯處理工具。鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作。

主機(jī)尺寸/重量

800(W)x825(D)x 1500(H)mm /200kg

電源

單相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

預(yù)對(duì)中燈絲,樣品托,碳導(dǎo)電膠帶,導(dǎo)電銀膠,工具

可選配置

四象限BSED | 樣品室攝像機(jī) | 升級(jí)LaB6/CeB6陰極 | 3D重構(gòu)成像軟件 | 拉曼光譜 | EDS能譜儀 | WDS波譜儀 | EBSD 電子背散射衍射 | CL 陰極熒光 |電子束曝光裝置



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