透射電鏡原位MEMS加熱/電學(xué)測量系統(tǒng)，  透射電子顯微鏡可以在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率。透射電子顯微鏡原位加熱/電學(xué)測量系統(tǒng)是在標準外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測量芯片。微加熱芯片可對樣品進行可控溫度的加熱，電學(xué)測量芯片可對樣品進行電性質(zhì)測量。并可在進行加熱和電學(xué)測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進行綜合表征，*地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

        本系統(tǒng)硬件包括兩部分，分別是加熱/電學(xué)測量控制器、原位MEMS芯片樣品桿。軟件包括自動控溫軟件和自動電學(xué)測量軟件。

性能指標
 

透射電子顯微鏡指標：

● 兼容型號電鏡及極靴；

● 單傾可選高傾角版本；

● 可選雙傾版本，β角傾轉(zhuǎn)±25°（同時受限于極靴）；

● 測量電極數(shù)可選。

電學(xué)測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電壓輸出大±200 V，小±100 nV；

● 電流測量大±1.5 A，小100 fA；

● 恒壓或者恒流模式；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

加熱與溫控指標：

● 溫度控制范圍：室溫到1200 ℃；

● 加熱功率：大30 W；

● 控溫穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃；

● 大升溫速率：1000 ℃/ms。