化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>去膠機(jī)>PLUTO-30型 等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)
PLUTO-30型 等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海沛沅儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 PLUTOVAC
- 型號(hào) PLUTO-30型
- 產(chǎn)地 上海市康橋東路1159弄91號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/16 13:21:35
- 訪問次數(shù) 2040
產(chǎn)品標(biāo)簽
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等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī),小型等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子鍍膜機(jī)
PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統(tǒng)
中小型 量產(chǎn)級(jí) 多功能
PLUTO-30型等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī),等離子去膠機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶的靈活性。
PLUTO-30型等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)特征及優(yōu)勢(shì)
氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
射頻系統(tǒng)提供的工藝重復(fù)性和處理效率
全自動(dòng)處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息
臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積
典型應(yīng)用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性:預(yù)壓模粘合;預(yù)焊線粘合
增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性:預(yù)成型;預(yù)倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應(yīng)力,改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層(配備液體前體輸送裝置)
耐水納米涂層:印刷電路板表面處理
防腐納米涂層:醫(yī)療器械,醫(yī)療植入物