inficon UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。 
　　UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。通過E-MAIL更新軟件，新的固件可通過標準接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。 

inficon UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀　產(chǎn)品應(yīng)用： 
　　 
　　半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護，該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵 
　　工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝 
　　元器件在組裝前的漏率測試 
　　要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合 
　　優(yōu)勢所在： 
　　 
　　◆具有*的ICAL本底穩(wěn)定功能，提供在10-12毫巴？升/秒范圍內(nèi)無比*的測量速度和穩(wěn)定性。 
　　 
　　◆可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器，大而清楚的字體可遠距離方便地觀察讀值?？梢詳?shù)顯，模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件，易于使用 
　　 
　　◆德國萊寶高性能機械泵，抽速：16米3/小時?？稍诘蜏丨h(huán)境下啟動檢漏儀 
　　 
　　◆德國普發(fā)三級渦輪進氣分子泵，抽速：>70升/秒，采用半磁懸浮軸承，即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會磨損軸承，高氦壓縮比：比其他檢漏儀高2－4倍。 
　　 
　　◆兩條鍍釔的銥絲，當一只燈絲斷了以后，能自動切換到另一只。UL1000*的結(jié)構(gòu)設(shè)計使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。 
　　 
　　◆UL1000采用全逆擴散檢漏方式，即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴散檢漏方式。有效地減少對檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護。 
　　 
　　◆采用*的毛細管式TL7校準漏孔，不受環(huán)境溫度變化影響，因此不需要溫度補償。*的測試罐校準模式不僅校準儀器，也校準檢漏罐，是***的校準。 
　　 
　　◆英?？倒驹诒本?，上海和廣州設(shè)有維修中心及備件倉庫，可以提供24小時服務(wù)。工程師全部在德國總部接受過嚴格培訓(xùn)。國內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀，可在緊急情況下提供給用戶免費使用。INFICON有維修代理，可提供日常技術(shù)支持及維修