ETSys-Map在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)是針對(duì)納米薄膜研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域中大面積樣品檢測(cè)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)。

ETSys-Map在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)用于對(duì)1.4m * 1.1m及以上的大面積樣品進(jìn)行在線檢測(cè)?？蓽y(cè)量光滑平面基底上的納米薄膜，包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k；并可同時(shí)測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。可測(cè)量樣品上區(qū)域的樣品參數(shù)以及樣品表面的均一性分布。

ETSys-Map融合量拓科技在高精度激光橢偏儀的*技術(shù)和產(chǎn)品設(shè)計(jì)方面的經(jīng)驗(yàn)，性能。

特點(diǎn):

• 微米量級(jí)的全面積掃描精度

  *的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，能夠使探頭到達(dá)樣品上每個(gè)點(diǎn)，掃描精度達(dá)到微米量級(jí)。

• 原子層量級(jí)的膜厚分析精度

  采用非接觸、無(wú)破壞性的橢偏測(cè)量技術(shù)，對(duì)納米薄膜達(dá)到*的測(cè)量準(zhǔn)確度和靈敏度，膜厚測(cè)量靈敏度可達(dá)到0.05nm。

• 簡(jiǎn)單方便安全的儀器操作 

  用戶(hù)只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測(cè)量和分析過(guò)程，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出。豐富的模型庫(kù)、材料庫(kù)方便用戶(hù)進(jìn)行高級(jí)測(cè)量設(shè)置。