1、高靈敏度五分割半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器（日立為標(biāo)配，其它家均為選配）
背散射電子圖像對(duì)于反映樣品成分是非常重要的模式，如觀察樣品材料表面
缺陷分析中的夾雜和偏析等，BSE 模式下可以獲得區(qū)域中成分差異表現(xiàn)出來(lái)的襯
度像。日立 SU3500 掃描電鏡標(biāo)配了高靈敏度五分割半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器，
可實(shí)現(xiàn) 3D 形貌觀察，可以體現(xiàn)材料表面凹凸信息。而且分辨率達(dá)到 4nm。
高靈敏度表現(xiàn)在可以在快掃描刷新模式下成像，方便尋找樣品，另外在低加速電
壓也可以獲高質(zhì)量的 BSE 圖像；五分割設(shè)計(jì)使得電鏡可以獲得更多組合模式
成像（每個(gè)分割片都可以單獨(dú)設(shè)置為正信號(hào)、負(fù)信號(hào)或者 OFF），另外 5 片分割
片同時(shí)開(kāi)啟可以獲得日立 SU3500 掃描電鏡*的 BSE 3D 模式像，以得到立體
感增強(qiáng)的背散射電子圖像。方便客戶實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品多角度觀察，全面分析和觀察！

2.六偏壓設(shè)計(jì)提高低加速電壓條件下的電鏡圖像質(zhì)量
低加速電壓圖像可以獲得樣品更多表面細(xì)節(jié)信息，在材料的表面高襯度觀察
和腐蝕失效分析等方面有著非常重要的分析應(yīng)用價(jià)值。日立 SU3500 掃描電鏡采
取的是四偏壓設(shè)計(jì)，提高低加速電壓條件下的發(fā)射束流值，明顯提升 SEM 圖像質(zhì)量。適用于觀察非導(dǎo)電樣品

3.完善的防碰撞系統(tǒng)避免馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)中碰撞損壞樣品倉(cāng)內(nèi)的探測(cè)器
 日立 SU3500 掃描電鏡具有*的三重防碰撞系統(tǒng)，1，高度規(guī)測(cè)量高度，
2.軟件防護(hù) 3.硬件擋板防護(hù)。 首先只要在樣品放入樣品倉(cāng)之前輸入樣品高度和
樣品臺(tái)直徑，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)屏蔽可能發(fā)生碰撞的馬達(dá)臺(tái)操作，避免損壞樣品倉(cāng)內(nèi)價(jià)
值不菲的各類探測(cè)器。

4.新穎的相機(jī)導(dǎo)航功能方便尋找和確定樣品位置
電鏡圖像是根據(jù)樣品不同位置的信號(hào)強(qiáng)弱來(lái)成像的，某些樣品光學(xué)圖像中不
同顏色代表不同區(qū)域，這種情況下通常在電鏡操作過(guò)程中很難找到相應(yīng)的位置。
使用光學(xué)數(shù)碼照片導(dǎo)航功能，可以一目了然的確定樣品臺(tái)不同區(qū)域的位置，在很多情況下可以*的提高了尋找感興趣區(qū)域的效率。

5.長(zhǎng)襯管設(shè)計(jì)方便更換聚光鏡光闌，降低電鏡維護(hù)成本
掃描電鏡在使用一段時(shí)間之后需要更換光闌以確保其高分辨圖像的觀察效
果，日立 SU3500 掃描電鏡采用聚光鏡光闌長(zhǎng)襯管安裝方式，取出和安裝簡(jiǎn)單易做，保證了維護(hù)后性能的穩(wěn)定，用戶經(jīng)過(guò)培訓(xùn)之后即可自行更換聚光鏡光闌片，
節(jié)約了維護(hù)費(fèi)用。

應(yīng)用領(lǐng)域： 

1、 生物醫(yī)學(xué) 

2、 食品衛(wèi)生 

3、 電子半導(dǎo)體 

4、 汽車制造 

5、 新能源