臺式磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/12/10 11:21:42
- 訪問次數(shù) 1765
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光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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臺式磁控濺射鍍膜儀
該系統(tǒng)可以作為以下功能裝置:
1,研發(fā)級R&D鍍膜設(shè)備,性能優(yōu)異
2,具備所有研發(fā)級別的鍍膜要求
3,高效的沉積速率,鍍膜時間快
4, 實驗室中培訓(xùn)的最工具
臺式磁控濺射鍍膜儀
主要的特點和先進的功能:
1, 臺式,小型,快速
2,全自動化程序控制
3,單靶或多靶聯(lián)合濺射鍍膜,多路氣體管路
4,共聚焦設(shè)計,靶槍尺寸:2英寸,3英寸,4英寸,襯底可做到200mm,旋轉(zhuǎn)1-20RPM,以及Load-lock配置
5,配置干泵+分子泵,可達高真空,適用高品質(zhì)薄膜沉積。
6, 可做直流濺射,射頻濺射,100W射頻偏壓(用于襯底表面清洗)
性能價格比高?。?/span>