API 進口激光干涉儀（美國自動精密工程）

激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據(jù)。

API激光干涉儀

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。 
    若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時測量其它五個參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實時顯示,
數(shù)字化去除余弦差，測量準確;
¾ 兩點調(diào)光，對光迅速

直線度測量— API XD的方法

應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導軌的安裝調(diào)試(類似于自準直儀)
¾ 對直線度進行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調(diào)試
¾ 不受滾動角的影響，調(diào)整光路容易

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