EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（通用儀器）
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) EMS 150
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/5/12 16:43:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 1699
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EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（通用儀器）Film Thickness Monitor和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。
石英是離子型的晶體，當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱為壓電，這是因?yàn)槠浣Y(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層后，芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀（通用儀器）就是通過(guò)測(cè)量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
FTM是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動(dòng)，測(cè)試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。
儀器參數(shù)：
儀器尺寸 | 300mm （W） x 150mm （D） x 75mm （H） |
重量 | 6Kg |
可配套儀器 | EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
晶片座 | 置晶片裝置 |
密度范圍 | 1.55 to 23.0g/cm-3 |
測(cè)控范圍 | 5 to 999nm |
鍍碳時(shí)精度 | 0.8nm |
鍍金時(shí)精度 | 0.1nm |
電源 | 230V 50 Hz （3 Amp Max） |
訂購(gòu)信息：
貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
91006 | EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. | 臺(tái) |
91006-M | EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module | 臺(tái) |
91008 | Spare Crystals | 盒 |
91009 | Spare Glass Cylinder | 個(gè) |
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