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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>硅片制備/晶體生長設備>單晶爐>CL90 山東濟寧批發(fā)二手單晶生長爐

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CL90 山東濟寧批發(fā)二手單晶生長爐

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出售二手單晶爐,二手單晶生長爐
型號CL90單晶爐,共20臺,北京京儀世紀電子有限公司制造,2010年出廠,設備全新.
單晶爐的構成
提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成 
副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成
爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成
爐筒:包括取光孔
下爐筒:包括抽真空管道
底架:全鑄鐵機架和底座
坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成
分水器已經水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等 
氬氣管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件
真空泵已經真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等
電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線
定義
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。



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