奧林巴斯MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡
- 公司名稱 上海維翰光電科技有限公司
- 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/8/26 8:41:50
- 訪問次數(shù) 1919
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,電子 |
|---|
奧林巴斯MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡
考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
主要操作集中配置在前面板上
前面板
[1] 照明強(qiáng)度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)
在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng)，用一個(gè)按鈕就可以操作。此外，用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對(duì)焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度，能夠防止錯(cuò)誤操作。
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒
傾斜鏡筒示意圖
為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMIS8對(duì)應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
對(duì)應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍（Y方向284mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái)，快速完成檢查。
鮮明圖像和**的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)**的成像性能
物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
觀察影像實(shí)例
熒光觀察
軟件方案
實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像
MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此，捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
支持缺陷檢測的多種功能
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場中心附近偏離。
變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)
AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖
每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級(jí)），只要切換物鏡就能以合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
安全快速的搬運(yùn)晶圓
自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110（200 mm規(guī)格）組合
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。
近紅外線觀察單元
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對(duì)應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號(hào)。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
透射照明單元
透射照明單元
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。
奧林巴斯MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡技術(shù)參數(shù)：
| 半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 規(guī)格 | MX61L | MX61 | ||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） | |||
| 機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | ||
| 反射/透射 | 反射/透射 | |||
| 照明裝置 | 機(jī)身一體型（明視場，暗視場＋1選件） | |||
| 照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | ||
| 透射照明 | 纖維光導(dǎo) | |||
| 對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | ||
| 行程 | 32 mm | |||
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | |||
| 大樣本高度 | 30 mm | |||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場微分干涉6孔 | ||
| 明暗視場微分干涉5孔 | ||||
| 明暗視場微分干涉6孔 | ||||
| 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | ||||
| 手動(dòng)式 | - | |||
| 載物臺(tái) | 行程 | 14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明范圍356×284 mm） | 8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明范圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm | |
| 觀察筒 | 廣角視場 （視場數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 | |
| 正像 | 三目觀察筒 | |||
超寬視場 （視場數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | ||
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 | |||
| 附件單元 | IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | |||
| 外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm （標(biāo)準(zhǔn)組合） | 509（W）×843（D）×507（H）mm （標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
| 重量 | 51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | 40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
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