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BXS01-HF19-FM 石英管微波等離子體發(fā)生裝置 微波等離子體分析儀 等離子體發(fā)生裝置
- 公司名稱 北京北信科遠(yuǎn)儀器有限責(zé)任公司
- 品牌
- 型號(hào) BXS01-HF19-FM
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/5/20 15:39:07
- 訪問次數(shù) 1597
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石英管微波等離子體發(fā)生裝置 微波等離子體分析儀 等離子體發(fā)生裝置
型號(hào):BXS01-HF19-FM
該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電,從而產(chǎn)生等離子體。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)。
基片臺(tái)位于石英管反應(yīng)腔體的中心,該基片臺(tái)除了基本的上下升降功能外,同時(shí)具有水冷控溫的功能,雙層水冷支架與基片臺(tái)可方便地拆卸與維護(hù),即使樣品以不同的形態(tài)(片狀、塊狀、粉末狀等)出現(xiàn),更換或改裝基片臺(tái)也十分方便。
石英管反應(yīng)腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù),端口以不銹鋼部件固定并密封(加橡膠)石英腔體,以確保反應(yīng)腔的安全穩(wěn)定工作。
該設(shè)備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵,極限真空6×10-1帕,抽速2升/秒,額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分,機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥,旁路管道設(shè)置另一隔斷閥(高真空微調(diào)閥),以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時(shí)反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封,通常:相對(duì)不動(dòng)接口采用金屬銅密封,相對(duì)可動(dòng)接口采用橡膠密封。
真空測(cè)量采用數(shù)字壓阻式真空計(jì),用來測(cè)量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓。
主要電氣配置:
1) 真空泵:2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源,對(duì)實(shí)驗(yàn)室電源無特殊要求。
2) 磁控管:采用工業(yè)上通用的磁控管,該磁控管具有使用壽命長(zhǎng)、可靠性高的特點(diǎn),維護(hù)方便。
3) 真空計(jì):采用壓阻式真空計(jì),用于測(cè)量工作時(shí)的工作氣壓。
4) 溫控儀:用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制。
5) 500W微波功率源:通過調(diào)節(jié)磁控管陽極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出,利用簡(jiǎn)單、可靠、易維護(hù)的電路實(shí)現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出。
6) 冷卻水:裝置自帶循環(huán)冷卻水,對(duì)實(shí)驗(yàn)室無水源要求,既節(jié)水又方便。
二、技術(shù)參數(shù)及特性1. 反應(yīng)室工作壓強(qiáng):幾百帕~十千帕
2. 反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10-1帕3. 反應(yīng)室尺寸: Φ50mm
4. 微波功率: 0~500W5. 基片溫控: 200~1000℃
外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米(mm)
測(cè)量范圍 0.500W(Ω)
北京北信未來電子科技中心
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:王華
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