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4當(dāng)前位置：陜西易度智能科技有限公司>>技術(shù)文章展示
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當(dāng)前位置：陜西易度智能科技有限公司>>技術(shù)文章展示
2025
03-13層流壓差質(zhì)量流量計(jì)：為什么測(cè)壓差能計(jì)算流量
在工業(yè)過(guò)程控制、環(huán)境監(jiān)測(cè)及實(shí)驗(yàn)室研究中，流量測(cè)量是至關(guān)重要的技術(shù)環(huán)節(jié)。層流壓差質(zhì)量流量計(jì)因其高精度和線性響應(yīng)特性，成為小流量測(cè)量的理想選擇。其核心原理基于層流狀態(tài)下的壓差與流量的直接數(shù)學(xué)關(guān)系，結(jié)合流體力學(xué)理論實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量。本文將從原理、及設(shè)計(jì)角度解析這一技術(shù)的科學(xué)基礎(chǔ)。理論基礎(chǔ)：層流與哈根泊肅葉定律層流流動(dòng)特性：當(dāng)流體以較低速度流經(jīng)管道時(shí)，呈現(xiàn)層流狀態(tài)（雷諾數(shù)Re哈根泊肅葉定律1840年，法國(guó)科學(xué)家泊肅葉（JeanLéonardMariePoiseuille）通過(guò)實(shí)驗(yàn)得出層流下體積流量與壓差的關(guān)2025
03-12質(zhì)量流量控制器對(duì)半導(dǎo)體先進(jìn)制程工藝設(shè)備的深度拉動(dòng)
在半導(dǎo)體行業(yè)中，質(zhì)量流量控制器（MFC）扮演著關(guān)鍵角色，其應(yīng)用場(chǎng)景廣泛、控制的氣體類型多且需性能要求高。薄膜沉積：在化學(xué)氣相沉積（CVD）或物理氣相沉積（PVD）過(guò)程中，精確控制反應(yīng)氣體（如SiH?、NH?）或載氣（如Ar、N?）的流量，以形成均勻的薄膜。等離子體蝕刻：在干法蝕刻中，調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體（如CF?、Cl?、SF?）和惰性氣體（如Ar）的流量，控制蝕刻速率和選擇性。光刻膠處理：在涂膠或顯影過(guò)程中，控制環(huán)境氣體（如N?）的純度，防止光刻膠受污染或氧化。腔室清洗：使用腐蝕性氣體（如O?、NF?2025
03-11質(zhì)量流量控制器MFC在硅碳流化床設(shè)備中的應(yīng)用
質(zhì)量流量控制器MFC在硅碳流化床設(shè)備中主要是流量控制、過(guò)程優(yōu)化、反應(yīng)條件維持和設(shè)備保護(hù)等，提供精確的氣體流量控制，確保流化床設(shè)備高效、穩(wěn)定、安全地運(yùn)行。1.流化過(guò)程的精確控制氣體流量調(diào)節(jié)：MFC通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)氣體（如氮?dú)?、氬氣或反?yīng)氣體）的流量，確保流化床內(nèi)顆粒均勻懸浮，維持穩(wěn)定的流化狀態(tài)。流量過(guò)低會(huì)導(dǎo)致床層塌陷，過(guò)高則可能引起顆粒夾帶。流化均勻性：通過(guò)多路MFC獨(dú)立控制不同入口的氣體流量，避免流化床內(nèi)出現(xiàn)“死區(qū)”或“溝流”，提升反應(yīng)效率。2.化學(xué)反應(yīng)條件優(yōu)化反應(yīng)氣體配比：在硅碳材料（如碳化2025
03-102025
03-072025
03-06?層流壓差式流量計(jì)：精準(zhǔn)測(cè)量的代表
在流體測(cè)量領(lǐng)域，層流壓差式流量計(jì)以其優(yōu)勢(shì)和性能，成為了眾多高精度應(yīng)用場(chǎng)景中的優(yōu)選。今天，讓我們一同深入了解這一精密儀器，以及易度智能在這一領(lǐng)域的杰出貢獻(xiàn)。一、層流壓差式流量計(jì)的工作原理層流壓差式流量計(jì)的核心在于其測(cè)量原理，它基于流體在層流狀態(tài)下的流動(dòng)特性進(jìn)行工作。當(dāng)氣體通過(guò)一個(gè)設(shè)計(jì)精妙的層流元件時(shí)，原本紊亂的湍流會(huì)被轉(zhuǎn)化為平滑有序的層流。這種層流狀態(tài)下，流體的體積流量與管道兩端的壓差呈現(xiàn)出線性關(guān)系，這是層流壓差式流量計(jì)測(cè)量的基礎(chǔ)。具體來(lái)說(shuō)，流量計(jì)通過(guò)差壓傳感器精確地測(cè)量層流元件兩端的壓差信號(hào)。這2025
03-05質(zhì)量流量控制器選型指南：層流壓差式與熱式對(duì)比及優(yōu)勢(shì)解析
在工業(yè)自動(dòng)化、半導(dǎo)體制造、生物制藥等領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器（MFC）是氣體流量精確控制的核心設(shè)備。當(dāng)我們需要選型的時(shí)候，需要根據(jù)實(shí)際工況以及質(zhì)量流量控制器的各個(gè)參數(shù)型號(hào)選擇合適的質(zhì)量流量控制器，下面我們將從市面上較為常見(jiàn)的的熱式以及層流壓差式質(zhì)量流量控制器的工作原理、性能對(duì)比、應(yīng)用場(chǎng)景等角度，為質(zhì)量流量控制器的選型提供科學(xué)依據(jù)。一、核心原理對(duì)比1.層流壓差式質(zhì)量流量控制器基于層流壓差原理，結(jié)合伯努利方程和哈根-泊肅葉定律設(shè)計(jì)。通過(guò)測(cè)量層流元件兩端的壓差信號(hào)計(jì)算流量，并利用內(nèi)置壓力和溫度傳感器補(bǔ)償環(huán)2025
03-04生物發(fā)酵行業(yè)質(zhì)量流量控制器的核心應(yīng)用及技術(shù)對(duì)比
質(zhì)量流量控制器（MFC）在生物發(fā)酵中的核心應(yīng)用1.發(fā)酵氣體供應(yīng)控制生物發(fā)酵的氣體環(huán)境直接影響微生物代謝效率和產(chǎn)物質(zhì)量，MFC在以下場(chǎng)景中發(fā)揮關(guān)鍵作用：好氧發(fā)酵的氧氣控制通過(guò)MFC精確調(diào)節(jié)空氣或純氧流量，維持溶氧（DO）濃度穩(wěn)定（例如：谷氨酸發(fā)酵需DO≥30%）。混合氣體配比多通道MFC獨(dú)立控制O?、CO?、N?等氣體流量，滿足特定發(fā)酵階段的氣體需求（如動(dòng)物細(xì)胞培養(yǎng)需5%CO?環(huán)境）。厭氧發(fā)酵的惰性氣體保護(hù)在乳酸或乙醇發(fā)酵中，MFC控制氮?dú)?氬氣流量，確保無(wú)氧環(huán)境并抑制雜菌生長(zhǎng)。2.尾氣分析與過(guò)程2025
03-03層流壓差式質(zhì)量流量控制器在生物制藥中的優(yōu)勢(shì)分析
易度智能質(zhì)量流量控制器具有高精度、多氣體支持、快速響應(yīng)和堅(jiān)固耐用等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于高?？蒲性核蛷V泛的工業(yè)過(guò)程自動(dòng)化控制中，如環(huán)保、電子、航天、汽車、電氣等領(lǐng)域。特別是在需要精確控制氣體流量或建立自動(dòng)化生產(chǎn)線的場(chǎng)景中。在生物制藥領(lǐng)域，層流質(zhì)量流量控制器（LaminarFlowMFC）相較于熱式質(zhì)量流量量控制器（ThermalMFC）具有多項(xiàng)顯著優(yōu)勢(shì)。層流MFC基于層流壓差原理，在低流量（如0.5sccm至數(shù)升/分鐘）范圍內(nèi)精度更高（可達(dá)±0.5%讀數(shù)），尤其適合需要微流量控制的生物反應(yīng)過(guò)程。熱2025
02-27精準(zhǔn)控流 易度MFC賦能CVD硅碳負(fù)極工藝革新
硅碳負(fù)極材料屬于鋰離子電池四大主材：正極材料、負(fù)極材料、電解液、隔膜中的負(fù)極材料，對(duì)于鋰離子電池的能量密度（車輛續(xù)航）、循環(huán)性能（使用壽命）、充放電倍率（快充效率）以及低溫放電性能（車輛在低溫環(huán)境下的續(xù)航衰減）具有較大的影響。硅碳負(fù)極由于其高理論比容量被視為是繼石墨之后發(fā)展前景較好的負(fù)極材料，成為研究的熱點(diǎn)；國(guó)內(nèi)已有多家企業(yè)申請(qǐng)硅碳負(fù)極材料專li，預(yù)計(jì)2025年硅碳負(fù)極材料市場(chǎng)滲透率將上升，2035年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)660億美元，硅膨脹問(wèn)題獲改善，硅碳負(fù)極材料需求有望進(jìn)一步增長(zhǎng)。穩(wěn)定性好促進(jìn)高品質(zhì)生2025
02-252025
02-252025
02-24易度智能質(zhì)量流量控制器在鋰電池硅基負(fù)極材料中的應(yīng)用
什么是硅基負(fù)極材料？鋰離子電池四大主材為正極材料、負(fù)極材料、電解液、隔膜。負(fù)極材料是鋰離子電池的重要原材料之一,對(duì)于鋰離子電池的能量密度、循環(huán)性能、充放電倍率以及低溫放電性能具有影響較大的影響。鋰電池負(fù)極材料主要分為碳材料和非碳材料。碳材料包括：石墨類、石墨烯、無(wú)序碳。目前鋰離子電池中應(yīng)用較多的是石墨類負(fù)極材料，比如人造石墨、天然石墨。非碳材料中主要包括：硅基負(fù)極材料、鈦酸鋰負(fù)極材料等。傳統(tǒng)的石墨類負(fù)極材料穩(wěn)定性好并且成本低，廣泛應(yīng)用于各種電池模組中，但是由于電價(jià)上漲和石墨的產(chǎn)能不足，石墨化供應(yīng)2025
02-24高穩(wěn)定性質(zhì)量流量控制器的技術(shù)原理深度解析
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種精密的流量控制裝置，廣泛應(yīng)用于各種需要精確控制氣體流量的場(chǎng)合。以下是對(duì)其技術(shù)原理的深度解析：一、工作原理概述質(zhì)量流量控制器的工作原理基于測(cè)量和控制氣體通過(guò)特定通道時(shí)的質(zhì)量流量。它不僅能測(cè)量氣體的流量，還能根據(jù)預(yù)設(shè)值自動(dòng)調(diào)整流量，使其保持穩(wěn)定。這一功能使得MFC在需要精確控制氣體流量的工業(yè)和科學(xué)研究中至關(guān)重要。二、主要工作原理類型1.熱式質(zhì)量流量控制器基于熱傳導(dǎo)效應(yīng)：熱式MFC通過(guò)在氣體流動(dòng)的通道上布置加熱器和溫度傳感器來(lái)工作。當(dāng)氣體流過(guò)時(shí)，會(huì)帶走部分熱量，導(dǎo)2025
02-202025
02-19易度智能:國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器品牌
易度智能是一家專注于高精度氣體流量測(cè)控領(lǐng)域的技術(shù)型企業(yè)。易度智能以層流原理為基礎(chǔ)，通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新為半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域提供高性能的氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）及流量計(jì)解決方案。其MFC產(chǎn)品具有高精度、快速響應(yīng)時(shí)間、寬量程比、多氣體兼容性、穩(wěn)定性和重復(fù)性高等特點(diǎn)，能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)等制造行業(yè)對(duì)氣體流量測(cè)控的嚴(yán)苛要求?。此外，易度智能建立了從研發(fā)設(shè)計(jì)、核心部件制造到整機(jī)組裝的全流程生產(chǎn)體系，確保每臺(tái)設(shè)備均通過(guò)嚴(yán)格的性能測(cè)試與老化驗(yàn)證，滿足工業(yè)級(jí)可靠性要求。同時(shí)，公司還具備行業(yè)定制化2025
02-18半導(dǎo)體行業(yè)趨勢(shì)以及對(duì)于質(zhì)量流量控制器MFC的要求
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)質(zhì)量流量控制器（MassFlowController,MFC）的要求極為嚴(yán)苛，因其直接關(guān)系到芯片制造的良率、工藝穩(wěn)定性及設(shè)備安全性。1.高精度與穩(wěn)定性精度要求：半導(dǎo)體制造中氣體流量的微小偏差可能導(dǎo)致薄膜厚度不均或摻雜濃度異常，因此MFC的精度需達(dá)到±1.0%滿量程（F.S.）甚至更高（易度智能MFC精度可達(dá)到±0.5%S.P.）。重復(fù)性：重復(fù)性誤差不超過(guò)±0.2%F.S.，以確保多次工藝的穩(wěn)定輸出（易度智能MFC重復(fù)性可達(dá)到±0.1%F.S.）。2.快速響應(yīng)與動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)能力響應(yīng)時(shí)間通常2025
02-17表壓、絕壓與大氣壓：流量計(jì)測(cè)量中的壓力關(guān)系解析
當(dāng)我們研究氣體流量計(jì)和流量控制器時(shí)，理解表壓、絕壓和大氣壓之間的關(guān)系是非常重要的。簡(jiǎn)單的解釋一下它們的區(qū)別和在產(chǎn)品測(cè)量時(shí)的應(yīng)用。大氣壓（AtmosphericPressure）大氣壓是地球表面空氣對(duì)物體施加的壓力，它是由地球大氣的重力造成的。它的大小在不同的高度和天氣條件下會(huì)有所變化。在海平面，標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓是101.325kPa。大氣壓的作用是我們?nèi)粘Ｉ钪兴惺艿降摹翱諝鈮毫Α?，就像你站在地面上，身體周圍的大氣會(huì)對(duì)你施加一定的壓力。表壓（GaugePressure）表壓是指某個(gè)系統(tǒng)或容器內(nèi)部的2025
02-13易度質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
在半導(dǎo)體行業(yè)中，對(duì)質(zhì)量流量計(jì)（MFM）和質(zhì)量流量控制器(MFC)的性能和參數(shù)需求非常高，以滿足精密制造的要求。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)質(zhì)量流量計(jì)的性能和參數(shù)需求高精度：半導(dǎo)體工藝對(duì)氣體流量控制要求很高，通常需要精度達(dá)到±0.5%或更高。小流量測(cè)量能力（如sccm，標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）是關(guān)鍵，尤其是在沉積、刻蝕等工藝中。快速響應(yīng)時(shí)間：工藝氣體流量需要快速調(diào)整，響應(yīng)時(shí)間通常在毫秒級(jí)別，以確保工藝穩(wěn)定性。寬量程比：半導(dǎo)體工藝涉及多種氣體和流量范圍，質(zhì)量流量計(jì)需要具備寬量程比（如100:1或更高），以適應(yīng)不同工藝需求。2025
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