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氫氣發(fā)生器在CVDMOCVD行業(yè)的運用2020/04/22
氫氣在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用半導(dǎo)體制造技術(shù)作為信息時代制造的基礎(chǔ)，堪比工業(yè)時代的機床，是整個社會發(fā)展的基石和原動力。在產(chǎn)業(yè)分工格局重塑的關(guān)鍵時期，我國也提出了《中國制造2025》，以通過智能制造實現(xiàn)由制造大國向制造強國的轉(zhuǎn)換。智能制造（工業(yè)4.0）的實現(xiàn)，以各種信息器件的使用為基礎(chǔ)，半導(dǎo)體制造技術(shù)正是其制造的核心技術(shù)。而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源，在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用?？稍诠怆娖骷?、傳感器、IC制造中應(yīng)用。目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝。退火是通過高
蒸發(fā)光檢測器載氣為什么用氮氣?2020/04/22
蒸發(fā)光散射檢測器（elsd）是一種通用型的檢測器，可檢測揮發(fā)性低于流動相的任何樣品，而無需發(fā)色基團。elsd靈敏度比示差折光檢測器高，對溫度變化不敏感，基線穩(wěn)定，適合與梯度洗脫液相色譜聯(lián)用。已被廣泛應(yīng)用于碳水化合物、類脂、脂肪酸、氨基酸、藥物以及聚合物等的檢測，尤其是中藥及中成藥的無紫外吸收的有效成分測定。蒸發(fā)光檢測器原理：將柱洗脫液霧化形成氣溶膠，然后在加熱的漂移管中將溶劑蒸發(fā)，余下的不揮發(fā)性溶質(zhì)顆粒在光散射檢測池中得到檢測。霧化蒸發(fā)檢測經(jīng)hplc分離的柱洗脫液進入霧化器，在此與穩(wěn)定的霧化氣體
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