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03-07FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級(jí)精度膜厚儀簡(jiǎn)介
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)，光學(xué)膜厚儀用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測(cè)量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)提供適用尺寸200mmx200mm的行程，可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學(xué)膜厚儀模塊化厚度測(cè)繪系統(tǒng)平臺(tái)，集成了先進(jìn)的光學(xué)、電子和機(jī)械模塊，用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括（但不限于）微圖案表面、粗糙表面等。該機(jī)型光學(xué)模塊功能強(qiáng)大，可測(cè)量的光斑尺寸小至幾微米。真2025
03-072025
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02-25解析折射率測(cè)量?jī)x：光學(xué)物性檢測(cè)的關(guān)鍵設(shè)備
在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域，對(duì)物質(zhì)光學(xué)性質(zhì)的精準(zhǔn)檢測(cè)至關(guān)重要。而折射率測(cè)量?jī)x，作為一種非常重要的光學(xué)物性檢測(cè)設(shè)備，發(fā)揮著不可替代的作用。折射率測(cè)量?jī)x的核心原理基于光的折射現(xiàn)象。當(dāng)光線從一種介質(zhì)進(jìn)入另一種介質(zhì)時(shí)，其傳播方向會(huì)發(fā)生改變，折射率就是描述這種變化程度的物理量。該儀器通過(guò)精確測(cè)量光在不同介質(zhì)中的折射角度或折射光的光強(qiáng)分布等信息，進(jìn)而計(jì)算出物質(zhì)的折射率。在科學(xué)研究方面，折射率測(cè)量?jī)x有著廣泛的應(yīng)用。例如在材料科學(xué)中，它可以幫助研究人員探究各種新型材料的光學(xué)特性。不同材料的折射率差異反映了其內(nèi)部原子排2025
02-24光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的工作原理與優(yōu)勢(shì)
光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的工作原理與優(yōu)勢(shì)分析如下：工作原理光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的工作原理主要基于光的干涉和反射原理。當(dāng)光源發(fā)出的光波照射到被測(cè)膜層時(shí)，一部分光波會(huì)在膜層表面反射，另一部分光波會(huì)穿透膜層并在膜層與基底的界面上反射回來(lái)。這兩部分反射光波會(huì)在探測(cè)器位置發(fā)生干涉，形成干涉圖樣。通過(guò)測(cè)量干涉圖樣的變化，可以計(jì)算出光波的相位差，進(jìn)而推算出膜層的厚度。具體來(lái)說(shuō)，相位差與膜厚度之間存在一定的數(shù)學(xué)關(guān)系，通過(guò)這一關(guān)系可以精確地求出膜層的厚度。優(yōu)勢(shì)高精度：光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x采用非接觸式測(cè)量方法，避免了機(jī)械接觸對(duì)膜層的損傷2025
02-20紅外激光測(cè)厚儀使用指南：精準(zhǔn)測(cè)量，輕松掌握
紅外激光測(cè)厚儀作為一種非接觸式測(cè)量?jī)x器，以其高精度、高效率的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于薄膜、涂層、金屬板材等材料的厚度測(cè)量。為了幫助您更好地使用紅外激光測(cè)厚儀，本文將詳細(xì)介紹其使用方法，助您輕松掌握測(cè)量技巧。一、使用前的準(zhǔn)備工作1.儀器校準(zhǔn)：使用前，務(wù)必使用標(biāo)準(zhǔn)厚度片對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度。按照說(shuō)明書操作，選擇合適的標(biāo)準(zhǔn)片，并進(jìn)行多點(diǎn)校準(zhǔn)，以減小誤差。2.環(huán)境選擇：選擇溫度適宜、濕度適中、無(wú)強(qiáng)光直射和強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境進(jìn)行測(cè)量，避免環(huán)境因素影響測(cè)量結(jié)果。3.樣品準(zhǔn)備：清潔被測(cè)樣品表面，去除油污、灰塵等2025
01-17膜厚測(cè)量?jī)x的操作規(guī)范與安全注意事項(xiàng)
膜厚測(cè)量?jī)x是科研、工業(yè)生產(chǎn)及質(zhì)量控制等領(lǐng)域中用于精確測(cè)量薄膜、涂層或其他薄層材料厚度的關(guān)鍵工具。為確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和操作人員的安全，使用儀器時(shí)必須嚴(yán)格遵守操作規(guī)范和安全注意事項(xiàng)。在操作規(guī)范方面，首先需根據(jù)被測(cè)材料的類型和應(yīng)用場(chǎng)景選擇合適的膜厚測(cè)量?jī)x。例如，磁性的適用于測(cè)量鋼鐵等磁性金屬基底上的非磁性涂層，而渦流的則適用于非磁性金屬上的涂層測(cè)量。在使用前，必須對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)使用已知厚度的標(biāo)準(zhǔn)樣品，按照儀器說(shuō)明書進(jìn)行操作。在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，需確保被測(cè)表面清潔無(wú)污染2025
01-16晶圓水平儀技術(shù)解析：從原理到應(yīng)用的全面探討
晶圓水平儀是半導(dǎo)體制造中的高精度測(cè)量工具。其工作原理基于精密的傳感器和算法，能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量晶圓表面的微小起伏，確保晶圓在加工過(guò)程中的水平狀態(tài)。晶圓水平儀的核心在于其高精度的傳感器。這些傳感器能夠捕捉到晶圓表面微小的傾斜或不平整，通過(guò)算法處理后將結(jié)果反饋給制造設(shè)備。制造設(shè)備再根據(jù)這些反饋信息對(duì)晶圓進(jìn)行微調(diào)，確保其在整個(gè)加工過(guò)程中始終保持水平。在實(shí)際應(yīng)用中，晶圓水平儀的作用至關(guān)重要。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，晶圓的表面平整度對(duì)芯片的制造工藝有著嚴(yán)格的要求。任何微小的瑕疵都可能導(dǎo)致芯片制造的失敗，進(jìn)而影響整個(gè)2025
01-09膜厚測(cè)量?jī)x：精確測(cè)量薄層材料厚度的關(guān)鍵工具
膜厚測(cè)量?jī)x是一種廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)和質(zhì)量控制領(lǐng)域的精密儀器，其主要功能在于準(zhǔn)確測(cè)量薄膜、涂層或其他薄層材料的厚度。這種儀器在多個(gè)行業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為產(chǎn)品的性能評(píng)估和質(zhì)量控制提供了有力支持。膜厚測(cè)量?jī)x的工作原理基于多種物理現(xiàn)象，包括光學(xué)干涉、電磁感應(yīng)、渦流效應(yīng)等。光學(xué)干涉法通過(guò)測(cè)量光波在薄膜表面和底部之間反射和透射的相位差來(lái)計(jì)算厚度；電磁感應(yīng)法則利用測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層時(shí)流入鐵磁基體的磁通大小來(lái)測(cè)定覆層厚度；渦流法則通過(guò)測(cè)量高頻交流信號(hào)在測(cè)頭線圈中產(chǎn)生的電磁場(chǎng)變化來(lái)推算薄膜厚度。這些2024
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11-26光學(xué)光刻技術(shù)（Optical lithography）
1.簡(jiǎn)介光學(xué)光刻（Opticallithography），也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對(duì)掩模和樣品進(jìn)行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備（接近式光刻機(jī)）2.1HMDS及涂膠1)標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預(yù)處理2)烤箱-批量處理多個(gè)晶圓3)HMDS也可以在手動(dòng)旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4）涂膠機(jī)上進(jìn)行光刻膠的涂布2.2對(duì)準(zhǔn)接觸光刻1)光刻前的對(duì)準(zhǔn)2)對(duì)準(zhǔn)器——處理具有對(duì)準(zhǔn)圖形的晶圓3)EVG610等掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光機(jī)——光刻膠曝光2.2024
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11-01動(dòng)態(tài)激光干涉儀的應(yīng)用及作用
動(dòng)態(tài)激光干涉儀是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，主要用于測(cè)量光學(xué)元件的表面形貌、材料的熱膨脹系數(shù)、機(jī)械應(yīng)力場(chǎng)等。該儀器基于干涉原理，通過(guò)激光光束的干涉效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)對(duì)象的測(cè)量和分析。它廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、醫(yī)學(xué)診斷等領(lǐng)域，具有高精度、快速、非接觸等優(yōu)點(diǎn)。1.在工業(yè)生產(chǎn)中，動(dòng)態(tài)激光干涉儀可以用于檢測(cè)光學(xué)元件的表面平整度、曲率半徑、波前畸變等參數(shù)。通過(guò)對(duì)光學(xué)元件的表面形貌進(jìn)行測(cè)量和分析，可以有效地控制生產(chǎn)過(guò)程，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。此外，儀器還可以用于檢測(cè)機(jī)械零件的形狀和尺寸，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的精密加2024
11-012024
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