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2025
03-07FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級精度膜厚儀簡介
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),光學膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學膜厚儀模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺,集成了先進的光學、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學參數(shù)。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。該機型光學模塊功能強大,可測量的光斑尺寸小至幾微米。真2025
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11-26光學光刻技術(shù)(Optical lithography)
1.簡介光學光刻(Opticallithography),也稱為光學平版印刷術(shù)或紫外光刻,是在其他處理步驟(例如沉積,蝕刻,摻雜)之前用光刻膠對掩模和樣品進行構(gòu)圖的方法。2.設備(接近式光刻機)2.1HMDS及涂膠1)標準旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4)涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準接觸光刻1)光刻前的對準2)對準器——處理具有對準圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光機——光刻膠曝光2.2024
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