微柵是電子顯微鏡用來檢測樣品的支持膜，特別是納米材料檢測的*用品。上常用“lacey support films”描述。

大多數透射電鏡樣品在制樣時，為了確保樣品能搭載在“載網”上，會在“載網”上覆一層有機膜，稱為“支持膜”。這種具有支持膜的載網，稱為“載網支持膜”。當樣品接觸載網支持膜時，會很牢固的吸附在支持膜上，不至于從載網的孔洞處滑落，以便在電鏡上觀察。
　　當樣品放在電鏡中觀察時，“載網支持膜”在電子束照射下，會產生電荷積累，引起樣品放電，從而發(fā)生樣品漂移、跳動、支持膜破裂等情況。所以，人們考慮在支持膜上噴碳，提高支持膜的導電性，達到良好的觀察效果。這種經過“噴碳的載網支持膜”，簡稱“碳支持膜”，一般膜厚度為7-10nm。
　　從制作成本和使用效果看，銅網實用，所以被普遍采用。因此，人們經常提到的“銅網支持膜”、“碳支持膜”、“碳膜”、“方華膜”等，甚至被誤稱的“銅網”，大多是指這種具有“銅網噴碳的支持膜”。通常稱“碳支持膜”。
　　準確的說，微柵是支持膜的一個品種，它是在制作支持膜時，特意在膜上制作的微孔，所以也叫“微柵支持膜”，它也是經過噴碳的支持膜，一般膜厚度為15-20nm。它主要是為了能夠使樣品搭載在支持膜微孔的邊緣，以便使樣品“無膜”觀察。無膜的目的主要是為了提高圖像襯度，所以，觀察管狀、棒狀、納米團聚物等，常用“”支持膜，效果很好。特別是觀察這些樣品的高分辨像時，更是*的選擇。
　　超薄碳膜，也是支持膜的一種。它是在的基礎上，疊加了一層很薄的碳膜，一般為3-5nm。這層超薄碳膜的目的，是用薄碳膜把微孔擋住。這主要是針對那些分散性很好的納米材料，如：10nm以下的樣品，分散性*，如果用就有可能從微孔中漏出，如果在孔邊緣，由于膜厚可能會影響觀察。所以，用超薄碳膜，就會得到很好的效果。