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自動(dòng)橢圓偏振測厚儀(Ellipsometer)是一種用于測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的儀器。它通過利用材料的光學(xué)特性，能夠準(zhǔn)確地測定這些參數(shù)，且由于測量過程不需要與樣品直接接觸，不會對材料表面造成損壞，也不需要真空環(huán)境，因此具有簡便、快捷且易于實(shí)現(xiàn)的特點(diǎn)。
當(dāng)一束具有已知偏振狀態(tài)的激光照射到薄膜表面時(shí)，光束在薄膜界面發(fā)生折射和反射等作用，導(dǎo)致出射光的偏振狀態(tài)發(fā)生變化，由線性偏振態(tài)變?yōu)闄E圓偏振態(tài)。由于偏振狀態(tài)的變化與薄膜的厚度、材料折射率等相關(guān)，因此通過測量出射光偏振態(tài)的變化，可以通過反演計(jì)算獲得薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。
使用自動(dòng)橢圓偏振測厚儀時(shí)，通常需要將儀器安放在穩(wěn)定的工作臺上，并進(jìn)行光路調(diào)整和儀器校正。然后，將待測樣品放置在樣品臺上，調(diào)整樣品的位置和角度以確保反射光能夠準(zhǔn)確地射入探測器。接下來，啟動(dòng)儀器進(jìn)行測量，并等待數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)輸出測量結(jié)果。
技術(shù)特點(diǎn)：
非接觸無損檢測：儀器通過測量光在介質(zhì)表面反射前后的偏振態(tài)變化來獲取信息，無需與樣品直接接觸，因此不會對樣品造成損傷。
高精度測量：儀器采用高精度的光學(xué)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理算法，能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜厚度的準(zhǔn)確測量。
測量范圍廣：適用于不同厚度和光學(xué)特性的薄膜材料測量。
易于操作：儀器具有友好的用戶界面和操作流程，使得用戶能夠輕松地進(jìn)行測量和分析。
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