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帶你了解無(wú)限遠(yuǎn)校正顯微物鏡

來(lái)源:聯(lián)合光科技(北京)有限公司   2025年03月04日 15:59  
帶你了解無(wú)限遠(yuǎn)校正顯微物鏡,光學(xué)顯微鏡簡(jiǎn)介
光學(xué)顯微鏡是是人們用以觀察微小物體和認(rèn)識(shí)微觀世界的重要手段和工具,也是人們從事光學(xué)精密測(cè)量、分析微觀組織、觀察細(xì)微結(jié)構(gòu)、開展微型工藝等的科學(xué)儀器。簡(jiǎn)單的光學(xué)顯微鏡包含一個(gè)用來(lái)放大樣品的成像系統(tǒng)和一個(gè)照射樣品的照明系統(tǒng)。但大多數(shù)光學(xué)顯微鏡都要更復(fù)雜,在顯微鏡內(nèi)部和其物鏡目鏡里,還包含了很多嚴(yán)格控制尺寸大小的高精度鏡頭。
圖1 顯微鏡光路示意圖

在使用顯微鏡時(shí),我們總是希望能得到清晰明亮的圖像,這就需要顯微鏡的各項(xiàng)光學(xué)技術(shù)參數(shù)達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn),并且要求在使用時(shí),必須根據(jù)實(shí)際情況來(lái)協(xié)調(diào)各參數(shù)的關(guān)系。只有這樣,才能充分發(fā)揮顯微鏡應(yīng)有的性能,得到滿意的顯微成像效果。

顯微物鏡是顯微成像系統(tǒng)的重要組成部分,它很大程度上決定了顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率,顯微鏡和顯微物鏡主要有以下光學(xué)技術(shù)參數(shù):

放大倍率

顯微鏡整體系統(tǒng)的放大倍率為目鏡和物鏡的放大倍率的乘積,放大倍率通常是以一個(gè)數(shù)值和“x”表示,如10x、20x、50x等;

數(shù)值孔徑NA

數(shù)值孔徑是顯微物鏡最主要的技術(shù)參數(shù),它是一個(gè)無(wú)量綱量,用來(lái)衡量物鏡接收角的范圍,用以衡量該系統(tǒng)能夠收集的光的角度范圍。數(shù)值孔徑NA是透鏡與物體之間介質(zhì)的折射率n和半孔徑角θ的正弦之乘積,即

NA = n × sinθ

圖2 顯微物鏡孔徑示意圖

分辨率

顯微鏡的分辨率是指能被顯微鏡清晰區(qū)分的兩個(gè)物點(diǎn)的最小間距,計(jì)算公式為

σ = λ / NA
其中σ為最小分辨距離,λ為光線的波長(zhǎng),NA為物鏡的數(shù)值孔徑。

工作距離

物鏡的工作距離指物鏡底面到樣品表面的距離。在物鏡數(shù)值孔徑一定的情況下,工作距離短則孔徑角大。

物鏡的基本類型

顯微物鏡是光學(xué)顯微鏡最關(guān)鍵的零件,也是最難設(shè)計(jì)和裝配的零件,物鏡是由一系列透鏡組裝而成,物鏡的成像質(zhì)量直接決定了顯微鏡系統(tǒng)的性能。在選擇合適的物鏡時(shí),除了放大倍率、數(shù)值孔徑等上述提到的技術(shù)指標(biāo)外,了解正確的像差校正也是極為重要的。

顯微物鏡按照像差校正情況不同可以分為消色差物鏡、復(fù)消色差物鏡、平場(chǎng)消色差物鏡、平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡等。

消色差物鏡(Achromatic objective)

它是實(shí)驗(yàn)室常用的物鏡,外殼上常有“Ach”字樣,它針對(duì)藍(lán)光(486nm)和紅光(656nm)兩種波長(zhǎng)進(jìn)行色差校正,同時(shí)對(duì)546nm波長(zhǎng)的光進(jìn)行球差校正。消色差透鏡是單色光應(yīng)用的選擇。

復(fù)消色差物鏡(Apochromatic objective)

復(fù)消色差物鏡外殼上標(biāo)有“Apo”字樣,要求能夠在三種波長(zhǎng)區(qū)域(紅色、藍(lán)色和黃色)中校正色差。此外,它們也能夠提供二到三種波長(zhǎng)的球差校正,而且通常具有較高的數(shù)值孔徑和較長(zhǎng)的工作距離,因此光學(xué)結(jié)構(gòu)更為復(fù)雜,且通常需要采用特種玻璃或螢石等材料制作。復(fù)消色差物鏡非常適合用于白光應(yīng)用中。

平場(chǎng)物鏡(Plan Objective)

消色差/復(fù)消色差物鏡一般在大放大倍率時(shí),會(huì)出現(xiàn)場(chǎng)曲問(wèn)題,即像場(chǎng)不再是平面而是發(fā)生彎曲,平場(chǎng)物鏡即在物鏡設(shè)計(jì)時(shí)通過(guò)對(duì)場(chǎng)曲進(jìn)行校正,提高邊緣視場(chǎng)像差,使得曲面場(chǎng)變成平面。平場(chǎng)物鏡外殼上標(biāo)有“Plan”字樣。

無(wú)限遠(yuǎn)共軛&有限遠(yuǎn)共軛

無(wú)限遠(yuǎn)共軛、有限遠(yuǎn)共軛指的是顯微物鏡的物面與像面這兩個(gè)共軛面而言的。

如圖3a所示,有限遠(yuǎn)共軛顯微物鏡,從樣品散射的光被物鏡匯聚到一點(diǎn),然后通過(guò)目鏡成像;

而無(wú)限遠(yuǎn)共軛顯微物鏡,如圖3b所示,離開物鏡后孔徑的光線會(huì)被準(zhǔn)直,在成像應(yīng)用中需要一個(gè)鏡筒透鏡將物鏡準(zhǔn)直后的光聚焦在傳感器上。無(wú)限遠(yuǎn)共軛顯微物鏡外殼上標(biāo)有“∞”字樣。

圖3  a有限遠(yuǎn)共軛物鏡   b無(wú)限遠(yuǎn)共軛物鏡

無(wú)限遠(yuǎn)共軛物鏡與有限遠(yuǎn)共軛物鏡相比,優(yōu)勢(shì)在于,可以在無(wú)限遠(yuǎn)共軛物鏡和鏡筒透鏡之間插入偏振片、濾波片等,而無(wú)需改變光束傳播方向。

物鏡鏡筒上印有大部分物鏡的規(guī)格,用戶在使用時(shí)可以輕松辨別,以聯(lián)合光科推出的無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡為例,了解下標(biāo)識(shí)所代表的含義。

圖4 典型顯微物鏡規(guī)格標(biāo)識(shí)
無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡應(yīng)用
無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡代表當(dāng)今顯微鏡生產(chǎn)高水平,在半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)中得到越來(lái)越廣泛的使用,其憑借優(yōu)異的成像質(zhì)量,超長(zhǎng)的工作距離,大數(shù)值孔徑等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于激光微納加工、激光微束系統(tǒng)、亮場(chǎng)工業(yè)檢測(cè)等多種場(chǎng)合。
激光微束操作系統(tǒng)中的應(yīng)用

激光微束操作系統(tǒng)可以在基因工程中實(shí)現(xiàn)非接觸細(xì)胞操作,系統(tǒng)中“光鑷”和“光刀”則依靠高質(zhì)量的顯微物鏡實(shí)現(xiàn)。

圖5 在激光微束操作系統(tǒng)中的應(yīng)用

飛秒激光微納加工中的應(yīng)用

飛秒激光微納加工往往是在極小的空間、極短的時(shí)間和特別的物理?xiàng)l件下對(duì)物質(zhì)進(jìn)行加工的,使用無(wú)限共軛長(zhǎng)工作距離、復(fù)消色差設(shè)計(jì)的顯微物鏡可以將激光束聚焦到接近衍射極限,從而獲得很高的能量密度,使脈沖中心很小的區(qū)域的能力超過(guò)燒蝕閾值,實(shí)現(xiàn)比焦點(diǎn)還小的特征結(jié)構(gòu)。

圖6  在飛秒激光微納加工中的應(yīng)用
工業(yè)檢測(cè)中的應(yīng)用

無(wú)限共軛長(zhǎng)工作距離顯微物鏡在工業(yè)微觀形貌檢測(cè)上也有廣泛應(yīng)用,圖7是在共聚焦顯原理的輪廓儀中的應(yīng)用,可以實(shí)現(xiàn)3D形貌的檢測(cè)和關(guān)鍵尺寸的測(cè)量。

圖7 在工業(yè)微觀形貌檢測(cè)中的應(yīng)用
無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡產(chǎn)品簡(jiǎn)介
聯(lián)合光科技(北京)有限公司推出的2X、5X、10X、20X、50X、100X的長(zhǎng)工作距離顯微物鏡,其光譜波長(zhǎng)范圍是400-700nm,該物鏡采用平場(chǎng)復(fù)消色差設(shè)計(jì),其可對(duì)紅光、藍(lán)光和黃光進(jìn)行校正,具有工作距離長(zhǎng)、數(shù)值孔徑大等特點(diǎn),這些物鏡被廣泛應(yīng)用到亮場(chǎng)工業(yè)檢測(cè)、教育科研等領(lǐng)域。
聯(lián)合光科無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡
主要參數(shù)



產(chǎn)品編號(hào)

放大倍率

數(shù)值孔徑

焦距/mm

分辨能力/um

690000

2x

0.06

100

5

690002

10x

0.28

20

1

690003

20x

0.42

10

0.7

690004

50x

0.55

4

0.5

690005

100x

0.7

2

0.4

更多產(chǎn)品信息詳見(jiàn):無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡 


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