如何選擇紫外臭氧清洗機(jī)？

今天的主角是我們的一款簡易的紫外臭氧清洗機(jī)。

來自其他制造商的紫外臭氧清潔機(jī)可以提供一系列附加功能。更多的功能常常會(huì)被誤認(rèn)為是更有效的性能。但是，在您的實(shí)驗(yàn)設(shè)置中評(píng)估附加功能的必要性和適用性總是很重要的。我們這款紫外臭氧清潔機(jī)本著簡單高效的理念構(gòu)建，提供了一個(gè)有效工作的模型，沒有不必要的、復(fù)雜的或令人困惑的特性。

1.加熱功能

超過150°C，材料的溫度越高，紫外臭氧清洗的反應(yīng)速度越快。因此，提高襯底的溫度可以促進(jìn)更快的清洗速率。為此，一些系統(tǒng)將可加熱的樣品臺(tái)集成到紫外臭氧清洗機(jī)中。

加熱的優(yōu)勢：當(dāng)用戶試圖從表面去除厚的污染層，例如殘留的光刻膠時(shí)，加熱是重要的，加熱階段的溫度可高達(dá)150攝氏度，有時(shí)甚至更高

不足之處：

加熱樣品臺(tái)的集成可能會(huì)帶來一些挑戰(zhàn):

加熱的樣品臺(tái)很容易導(dǎo)致燈的溫度超過最佳的溫度窗口。這減少了燈的壽命和光輸出。

設(shè)計(jì)一個(gè)在加熱樣品的同時(shí)能保持最佳燈溫的系統(tǒng)是很昂貴的。它需要使用石英窗來實(shí)現(xiàn)物理隔離和燈的主動(dòng)冷卻。

提高溫度會(huì)增加臭氧分解的速率以及目標(biāo)反應(yīng)速率。

需要加熱的舞臺(tái)嗎？

在紫外臭氧系統(tǒng)中增加加熱元件可能不值得額外花費(fèi)。如果您只需要去除材料的薄單層，或者只對(duì)表面改性感興趣，在這種情況下，我們的系統(tǒng)是理想的選擇。

如果要去除較厚的材料層，加熱元件可能是確保合理清潔時(shí)間的必要條件。

2.臭氧中和器

紫外臭氧清洗機(jī)可以安裝內(nèi)置過濾器。在空氣從系統(tǒng)中抽出并排入實(shí)驗(yàn)室之前，臭氧被過濾器吸收。

優(yōu)勢

在清潔過程中會(huì)產(chǎn)生大量的臭氧，即使是少量的臭氧也會(huì)對(duì)使用者造成危害。內(nèi)置過濾增加了用戶的安全性，因?yàn)槌粞醪恍枰褂猛獠吭O(shè)備排出。

不足之處

隨著系統(tǒng)過濾功能的增加，有責(zé)任進(jìn)行更多的定期維護(hù)，以保持安全標(biāo)準(zhǔn)。必須更換過濾器，并定期檢查密封件的完整性。臭氧會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞用于形成氣密密封的墊圈，增加維護(hù)成本。當(dāng)進(jìn)行維護(hù)時(shí)，它也增加了系統(tǒng)的停機(jī)時(shí)間。

需要集成過濾嗎？

如果是放在通風(fēng)櫥內(nèi)使用的話，就不需要了。抽氣或再循環(huán)通風(fēng)櫥都可以提供所需的臭氧防護(hù)。

3.氣體入口

給樣品室增加一個(gè)氣體入口可以讓你從外部源給樣品室增加氧氣。市場上可買到的一些紫外線臭氧清潔器具有為此目的設(shè)計(jì)的入口，允許用戶將氧氣源直接連接到系統(tǒng)。

優(yōu)勢

隨著腔室中存在更多的氧氣，來自燈的紫外光被吸收的可能性增加。這增加了用于形成臭氧和與樣品表面上的有機(jī)材料反應(yīng)的氧自由基的量。這提高了清潔率。

不足之處

空氣中氧氣含量的增加會(huì)顯著增加所用材料的易燃性，以及潛在火災(zāi)的風(fēng)險(xiǎn)。即使少量氧氣的增加也能改變通常易燃材料的行為。在富氧環(huán)境中工作會(huì)增加風(fēng)險(xiǎn)，這意味著必須格外小心。

允許輸入氧氣的紫外線臭氧清潔器必須符合更嚴(yán)格的設(shè)計(jì)規(guī)定。確保系統(tǒng)在爆炸性環(huán)境中安全運(yùn)行的設(shè)計(jì)的復(fù)雜性會(huì)導(dǎo)致更昂貴的系統(tǒng)。

需要進(jìn)氣口嗎？

雖然增加氧氣水平可以提高系統(tǒng)的清潔率，但您必須能夠安全地操作它。這需要一個(gè)可以處理高氧環(huán)境和實(shí)驗(yàn)的裝置。此外，在這些條件下，您計(jì)劃進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)必須是安全的。

高含氧環(huán)境的風(fēng)險(xiǎn)有時(shí)可能會(huì)超過更高的清潔率帶來的好處。因此，更簡單、更安全的操作系統(tǒng)，如我們的紫外線臭氧清潔器，可能更適合沒有配備高氧環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室設(shè)置。

4.樣品距離

樣品表面的光強(qiáng)度對(duì)清潔率有影響。由此，通常認(rèn)為減少光和樣品之間的距離會(huì)增加光的強(qiáng)度。為了實(shí)現(xiàn)這一理論，一些紫外線臭氧清潔器具有可調(diào)節(jié)的樣品托盤。

然而，這種理論的前提是光源為點(diǎn)光源(類似于單個(gè)燈泡)。點(diǎn)光源的強(qiáng)度將隨r2下降，并且光在所有方向上均勻地發(fā)出。對(duì)于大多數(shù)紫外臭氧清洗機(jī)，光是由一系列的燈或一個(gè)網(wǎng)格燈產(chǎn)生的，它可以看作是一個(gè)平面光源。雖然平面光源的強(qiáng)度有所下降，但沒有點(diǎn)光源下降的那么多。所以隨著樣品和燈之間的距離增加，測量到的光強(qiáng)度下降的幅度是很小的。因此，距離的調(diào)整對(duì)樣品表面的強(qiáng)度幾乎沒有影響。

減小距離會(huì)導(dǎo)致樣品表面的均勻性顯著降低。我們?cè)谧贤獬粞跚?/span>洗機(jī)中實(shí)施了固定距離，該清潔機(jī)經(jīng)過優(yōu)化以提供最大的均勻性，同時(shí)在關(guān)鍵波長保持高強(qiáng)度。

該如何選擇紫外臭氧清洗機(jī)呢？

選擇紫外臭氧清洗機(jī)時(shí)，必須考慮您的實(shí)驗(yàn)室設(shè)置的具體要求和您要清潔的材料的性質(zhì)。加熱樣品臺(tái)、臭氧中和器、氣體入口和可調(diào)樣品距離等功能提供了潛在的優(yōu)勢，但也帶來了自身的挑戰(zhàn)和缺點(diǎn)。

我們的紫外臭氧清潔器優(yōu)先考慮簡單性和效率，確保有效清潔，而沒有與額外的、通常不必要的功能相關(guān)的復(fù)雜性和成本。最終，選擇應(yīng)遵循所需清潔效率與設(shè)備在特定實(shí)驗(yàn)環(huán)境中的實(shí)用性、安全性和成本效益之間的平衡。