負極材料

負極材料，作為鋰電池重要組成部分，近年來備受關(guān)注。傳統(tǒng)的石墨負極憑借其優(yōu)異的材料穩(wěn)定性和低成本，廣泛應(yīng)用于各個類型的電池模組內(nèi)。但是由于石墨負極存在能量密度的理論克容上限（372mAh/g），各個材料研發(fā)單位和機構(gòu)都在尋找一款高能量密度的新型負極材料，來代替?zhèn)鹘y(tǒng)石墨負極。

近年來，硅碳負極被認為是具備可大規(guī)模量產(chǎn)潛力的新型負極材料。而硅碳負極的制備，也經(jīng)歷了不同的工程化方向，最后被廣泛認可且具備放大量產(chǎn)的方式為CVD工藝。而利用該工藝生產(chǎn)新型硅碳負極的設(shè)備，則是CVD流化床。在該生產(chǎn)工藝中，需要在多孔碳前驅(qū)體中，利用硅烷（SiH4）沉積硅原子，再利用乙炔（C2H2）等碳源氣體，對中間體進行二次包覆，將其制備成新型硅碳負極材料。

由于該工藝特點，過程中的硅烷較容易與氧氣接觸發(fā)生反應(yīng)，形成二氧化硅結(jié)晶附著在過程管路內(nèi)壁。也是因為該工藝特點，對控制氣體的質(zhì)量流量控制器有著巨大挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量控制器（包括毛細管以及直通式），通過氣體熱特性的方式來計算質(zhì)量流量，當溫度傳感器接觸面上附著二氧化硅結(jié)晶后，可能會致使傳感器導熱效率下降，流動氣體單位時間內(nèi)傳導到傳感器的熱量下降，最后導致測量值小于實際流通值。當測量值小于實際流通值后，原先設(shè)定的氣體流量（理想測量值）將小于實際氣體通過量。所以在安裝有熱式流量控制器的流化床上，經(jīng)常在使用一段時間后，出現(xiàn)尾氣中排放多余硅烷發(fā)生燃燒的現(xiàn)象。

而出現(xiàn)這種現(xiàn)象之后，熱式質(zhì)量流量控制器無法進行快速維修，只能設(shè)法更換傳感器或報廢。若長期使用該原理質(zhì)量流量控制器，則可能出現(xiàn)毛細管傳感器堵塞等現(xiàn)象，而引起更大的安全事故。

Alicat

Alicat 憑借其層流壓差原理及其優(yōu)異的產(chǎn)品精度，一致性和重復性。廣泛受到新型硅碳負極行業(yè)內(nèi)客戶的一致認可。Alicat質(zhì)量流量控制器的層流壓差原理通過壓差傳感器（應(yīng)變）獲得氣體在層流狀態(tài)下前后壓力差，再通過絕對壓力傳感器和溫度傳感器進行補償?shù)玫綒怏w當前的質(zhì)量流量。在測量流量的同時，還能夠?qū)崟r監(jiān)控入口端或出口端的氣體壓力和溫度，讓用戶在使用流量控制器的過程中，多維度監(jiān)控整個反應(yīng)過程。

而傳感器表面二氧化硅結(jié)晶，對應(yīng)變傳感器本身影響微乎其微。也是由于該特點，讓Alicat有著更高的控制穩(wěn)定性和對二氧化硅結(jié)晶更高的耐受度。而Alicat的層流壓差傳感器的保養(yǎng)和維護也異常輕松，僅需將流量控制器拆開，清洗，校準，即可恢復出廠性能。整個保養(yǎng)過程僅需一天時間。

除此之外，針對不同客戶不同的環(huán)評要求，Alicat還可以提供覆蓋0區(qū)，1區(qū)和2區(qū)的防爆產(chǎn)品。以適應(yīng)客戶生產(chǎn)要求。

推薦產(chǎn)品

Alicat MCR+VCR閥門

l精度：±(0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程)

                可選高精度±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)

l量程范圍：0.5SCCM-10,000SLPM

l控制范圍：1-100%滿量程

l重復性：±0.2%滿量程

l響應(yīng)時間：<1ms

l控制響應(yīng)時間(T63)：快至30ms

l預(yù)熱時間：<1s