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x熒光光譜儀（xrf）由激發(fā)源（x射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。x射線管產(chǎn)生入射x射線（一次x射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次x射線，并且不同的元素所放射出的二次x射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次x射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
近年來，x熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在rohs檢測領(lǐng)域應(yīng)用得最多也廣泛。
大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為be到u。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。
優(yōu)缺點(diǎn)：
優(yōu)點(diǎn):
a)分析速度高。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b)x射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟x射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。
c)非破壞分析。在測定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d)x射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e)分析精密度高。
f)制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
缺點(diǎn)：
a）難于作絕對(duì)分析，故定量分析需要標(biāo)樣。
b）對(duì)輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
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