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全元素光譜分析儀主要由激光器、光譜儀、探測器和時序控制器等核心單元組成，典型的LIBS檢測系統(tǒng)。其中，激光器為等離子體的激發(fā)源，在樣品表面激發(fā)產(chǎn)生等離子體后，其發(fā)射光被光收集器采集，并通過光纖傳輸?shù)焦庾V儀形成元素的特征光譜，再由探測器對光譜信息進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，由計(jì)算機(jī)對光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲、處理和顯示。
全元素光譜分析儀的構(gòu)成：
一臺光譜儀主要由一個光學(xué)平臺和一個檢測系統(tǒng)組成。包括以下幾個主要部分：
1.入射狹縫：在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點(diǎn)。
2.準(zhǔn)直元件：使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄?。該?zhǔn)直元件可以是一獨(dú)立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3.色散元件：通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。
4.聚焦元件：聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點(diǎn)對應(yīng)于一特定波長。
5.探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點(diǎn)的光強(qiáng)度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。
全元素光譜分析儀的優(yōu)勢：
1、測試元素多，可測70余種元素。
2、多元素同時測試，一次進(jìn)樣所有元素同時測試。
3、分析速度快，每分鐘約5個元素，*快測試速度可到每分鐘10個元素。
4、檢出限低，絕大多數(shù)元素可達(dá)ppb級。
5、線性范圍寬，可達(dá)5-6個數(shù)量級，可以實(shí)現(xiàn)高低含量同時測試，無需更換標(biāo)準(zhǔn)曲線。
6、化學(xué)干擾少。
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