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X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。
X射線熒光光譜儀的核心結(jié)構(gòu)為激發(fā)源和探測器，其中，激發(fā)源是激發(fā)元素產(chǎn)生特征X射線的構(gòu)件，有帶電粒子激發(fā)、電磁輻射激發(fā)、內(nèi)轉(zhuǎn)換現(xiàn)象和核衰變等方式，而常用的激發(fā)源是電磁輻射激發(fā)，探測器是將X射線熒光的能量和強度轉(zhuǎn)化成一定形狀和數(shù)量的電脈沖，實質(zhì)上就是一個能量→電量的傳感器，常用的探測器有正比計數(shù)器、閃爍計數(shù)器和半導體計數(shù)器。
優(yōu)點有哪些？
1)分析時間短。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
2)適用范圍廣。X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
3)非破壞分析，重現(xiàn)性好。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
4)X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。
5)分析精密度高。
6)制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
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