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在許多研究和生產(chǎn)過程中，重要的變量是質(zhì)量而不是體積，因為體積流量可能比溫度或壓力變化對固定體積氣體密度的影響要好，所以體積流量測量的結(jié)果不如質(zhì)量流量可靠。所以說熱式質(zhì)量流量計的測量結(jié)果很可靠。
熱式質(zhì)量流量計不受入口流量溫度和壓力波動的影響。質(zhì)量流量計可以直接測量質(zhì)量流量。大多數(shù)其他測量體積流量的方法需要單獨測量溫度和壓力來計算密度并最終計算質(zhì)量流量。質(zhì)量流量計在分子水平上測量流量，因此可以為過程提供高精度、高重復(fù)性和可靠的氣體輸送。
實際上，熱式質(zhì)量流量控制器是組合式集成流量計或外部控制閥。這些緊湊型儀器用于必須精確控制氣體的應(yīng)用。質(zhì)量流量控制器不斷將輸出信號與來自電壓、電流或數(shù)字（現(xiàn)場總線）源的設(shè)定點信號進行比較。設(shè)定點信號和測量信號之間的任何偏差都將轉(zhuǎn)換為電磁控制閥的調(diào)整，直到兩個信號相同?？刂乒δ埽≒ID，比例積分微分）通常是流量計電子設(shè)備的標準部分。同時可通過用戶軟件調(diào)整控制特性，實現(xiàn)快速或穩(wěn)定控制。根據(jù)應(yīng)用，您可以選擇用于高或低（差壓）壓力和從小到大流量的比例電磁控制閥。
通過集成額外的智能，熱式質(zhì)量流量計和控制器技術(shù)仍在改進。多氣體/多范圍或診斷功能也不例外，熱式氣體質(zhì)量流量控制器系列，擁有包含約100種氣體物理性質(zhì)的氣體數(shù)據(jù)庫，儀器可自動補償入口壓力的變化。
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