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白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
對于激光干涉儀，我們根據(jù)其原理可以清楚知道它是用來檢測設(shè)備的運動精度的，激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設(shè)備、機器人等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
激光干涉儀測量利用邁克爾遜干涉原理：
1.從激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
2.兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
3.角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。
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