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晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的制作方法
半導(dǎo)體晶圓由于需經(jīng)過(guò)各種不同流程的處理且需配合工藝設(shè)備，因此會(huì)被搬運(yùn)到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運(yùn)且避免受到外力碰撞，會(huì)將多個(gè)晶圓收納于晶圓暫存卡匣中。
一般來(lái)說(shuō)，晶圓暫存卡匣內(nèi)設(shè)置有逐層排列的多個(gè)插槽可水平容置多個(gè)晶圓，且其一側(cè)面具有一開(kāi)口可供晶圓的載出及載入。再者，于開(kāi)口處亦設(shè)置有可防止晶圓于搬運(yùn)時(shí)滑出的止擋構(gòu)件。然而，當(dāng)將存放晶圓的晶圓暫存卡匣搬運(yùn)至下一工作站時(shí)，作業(yè)人員常會(huì)忘記解除止擋構(gòu)件對(duì)晶圓的限位，而導(dǎo)致機(jī)械手臂強(qiáng)行從開(kāi)口將晶圓取出，造成晶圓撞擊止擋構(gòu)件而破裂及損壞。此外，晶圓暫存卡匣的插槽間距大于晶圓厚度，且晶圓暫存卡匣的容置空間會(huì)大于晶圓面積，因此晶圓于搬運(yùn)過(guò)程中仍會(huì)在晶圓暫存卡匣內(nèi)晃動(dòng)，而與晶圓暫存卡匣相互碰撞，此也會(huì)造成晶圓的破裂及損壞。因此，如何有效降低作業(yè)人員誤動(dòng)作的機(jī)會(huì)及降低搬運(yùn)過(guò)程中晶圓暫存卡匣與晶圓間相互碰撞的機(jī)率是業(yè)界亟欲解決的課題之一。
現(xiàn)在針對(duì)全自動(dòng)晶圓搬送機(jī)的卡匣放置需要一個(gè)穩(wěn)定且快捷安裝的卡匣裝置來(lái)配合。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置，其特征在于：所述晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺(tái)、用于控制卡匣載臺(tái)升降的升降軸傳動(dòng)裝置和用于安裝升降軸傳動(dòng)裝置的升降軸固定座。
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AL120晶圓搬送對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便。
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