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真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e氣體輸送泵，包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵，具有在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速等特點(diǎn)，被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，目前這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中*的主力泵種。
1、在系統(tǒng)中做主泵
所謂主泵就是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。
3、前級(jí)泵
前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
4、維持泵
維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。
8、增壓泵
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