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日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀
日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀

貨物所在地:四川成都市

更新時間:2025/2/27 9:34:07

訪問次數:10

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供應簡介
日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀-成都藤田科技提供
產品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學薄膜量測儀 藉由反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000機種90%的強大功能 無復雜設定,操作簡單,短時...


詳細介紹

日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀


產品信息

特殊長度

● 支持從薄膜到厚膜的各種薄膜厚度

● 使用反射光譜分析薄膜厚度

● 實現非接觸、非破壞的高精度測量,同時體積小、價格低

● 簡單的條件設置和測量操作!任何人都可以輕松測量薄膜厚度

● 通過峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法、優(yōu)化法等,可以進行多種膜厚測量。

● 非線性最小二乘法薄膜厚度分析算法可以進行光學常數分析(n:折射率,k:消光計數)。

測量項目

反射率測量

膜厚分析(10層)

光學常數分析(n:折射率,k:消光計數)

測量對象

功能膜、塑料
透明導電膜(ITO、銀納米線)、相位差膜、偏光膜、AR膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合劑、膠粘劑、保護膜、硬涂層、防指紋, 等等。

半導體
化合物半導體、Si、氧化膜、氮化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、藍寶石等。

表面處理
DLC涂層、防銹劑、防霧劑等。

光學材料
濾光片、增透膜等。

FPD
LCD(CF、ITO、LC、PI)、OLED(有機膜、封裝材料)等

其他
HDD、磁帶、建筑材料等


原理

測量原理

大冢電子利用光學干涉儀和自有的高精度分光光度計,實現非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學干涉測量法是一種使用分光光度計的光學系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學膜厚的方法,如圖 2 所示。以涂在金屬基板上的薄膜為例,如圖1所示,從目標樣品上方入射的光被薄膜表面(R1)反射。此外,穿過薄膜的光在基板(金屬)和薄膜界面(R2)處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學干涉現象,并根據得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學干涉法。分析方法有四種:峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法和優(yōu)化法。

日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀

規(guī)格

規(guī)格

類型薄膜型標準型
測量波長范圍300-800nm450-780nm
測量膜厚范圍
(SiO 2換算)
3nm-35μm10nm-35μm
光斑直徑φ3mm / φ1.2mm
樣本量φ200×5(高)mm
測量時間0.1-10s內
電源AC100V ± 10% 300VA
尺寸、重量280 (W) x 570 (D) x 350 (H) 毫米,24 公斤
其他參考板,配方創(chuàng)建服務


設備配置

光學家譜

日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀  


軟件畫面

日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀


日本Otsuka大塚FE-300光譜分析膜厚量測儀-成都藤田科技提供












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