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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> AP160M日本kk-ace壓力控制器半導(dǎo)體調(diào)節(jié)內(nèi)置傳感器
產(chǎn)品型號AP160M
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-08 21:54:04瀏覽次數(shù)：199次
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美國MTI空氣式熱壓機(jī)氣動(dòng)壓力機(jī)壓力控制器
日本miyuki自動(dòng)壓力控制控制器可遠(yuǎn)程控制
日本進(jìn)口YUTAKA壓力調(diào)節(jié)器高壓減壓閥流量計(jì)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 3千-6千 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本kk-ace壓力控制器半導(dǎo)體調(diào)節(jié)內(nèi)置傳感器 AP160M 特點(diǎn)介紹
AP160M是與半導(dǎo)體制造工藝等中使用的氣體兼容的控制器，通過自動(dòng)控制比例電磁閥的開度來自動(dòng)調(diào)節(jié)管道內(nèi)的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。
最大控制壓力約為650kPa，最大控制流量為100kPa壓差，噴射量有500cc/min和3000cc/min兩種。AP160M型號通過脈沖寬度調(diào)制控制比例電磁閥，提高了響應(yīng)性并消除了遲滯，因此在約1秒內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。
壓力接頭相當(dāng)于1/4" VCR，所有氣體接觸部件和壓力傳感器均由金屬制成，使其兼容所有氣體，包括半導(dǎo)體工藝氣體，以及惰性氣體、腐蝕性氣體和危險(xiǎn)氣體是有可能的。
日本kk-ace壓力控制器半導(dǎo)體調(diào)節(jié)內(nèi)置傳感器 AP160M 規(guī)格參數(shù)
壓力設(shè)置 需要從計(jì)算機(jī)等輸入壓力設(shè)定值。
控制方式 比例電磁閥紙漿控制批發(fā)商
控制壓力 0～500kPa
最大流量 壓差100kPa時(shí)有500cc/min和3000cc/min兩種
響應(yīng)時(shí)間 1秒達(dá)到設(shè)定值
輸入信號 0 5VDC 持續(xù)/關(guān)閉
R485
外部傳感器輸入 （4個(gè)20A可能）
輸出信號 報(bào)警輸出 RS485.0~5VDC
配件 1/4〃VCR同等產(chǎn)品
閥座泄漏 10-6Pa·m3/秒以下
準(zhǔn)確性 ±5kPa（800kPaFS 時(shí)）
電源電壓 24VDC±10%
目前的消費(fèi) 最大 200mA
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