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紫外臭氧清洗機利用紫外光的特定波長來破壞有機化合物的化學鍵。其中，185nm 波長的紫外光可將空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm 波長的紫外光可以破壞化合物中的鍵（尤其是碳碳鍵）。臭氧具有強氧化性，能與被活化的有機物分子發(fā)生氧化反應，將有機污染物分解成二氧化碳、水等揮發(fā)性氣體逸出物體表面，從而清除粘附在物體表面的有機污染物。

應用對象方面：可用于清洗多種材料，如石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等無機基材，以及光學玻璃、半導體、集成電路等。對于這些材料表面的石蠟、松香、油脂、光刻膠、環(huán)氧樹脂、焊劑等有機污染物，都有很好的清洗效果。