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桌面式小型勻膠機(jī)旋涂?jī)x英文SPIN COATE 或者SPIN PROCESSOR ,又稱(chēng)甩膠機(jī)，勻膠臺(tái)，旋轉(zhuǎn)涂膜儀，旋涂?jī)x。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂?jī)x

產(chǎn)品介紹：

勻膠機(jī)是一種用于在基片表面均勻涂覆光刻膠或其他功能性涂層的精密設(shè)備，工作原理是通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)

生的離心力，將滴加在基片中心的光刻膠均勻地甩開(kāi)，并在基片表面形成一層厚度均勻、表面平整的膠膜。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造(晶圓涂膠)、平板顯示(玻璃基板涂膠)、光學(xué)元件(透鏡、棱鏡等涂膠)、太陽(yáng)能

電池(硅片涂膠)、生物芯片(基片涂膠)等工藝中。

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂?jī)x

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 可載基片尺寸：φ10-φ100mm 圓片或最大100*100mm方片

l 7寸全彩觸摸屏，高級(jí)PLC控制，設(shè)置程序和真空吸附一鍵啟動(dòng)按鈕, 操作方便

l 可單步和多步（5組5步）勻膠操作

l 工業(yè)級(jí)馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，運(yùn)行穩(wěn)定

l 溶劑PC透明蓋；盆腔PP材質(zhì)，耐腐蝕

l 真空泵與勻膠機(jī)同步工作,勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn), 真空泵就啟動(dòng),勻膠機(jī)停止,真空泵就停止

l 專(zhuān)有防堵設(shè)計(jì)，易于清潔

l 配有負(fù)壓表，可實(shí)時(shí)觀察片子是否吸緊，是否漏氣

技術(shù)參數(shù)：

1.標(biāo)配三種真空吸盤(pán)（φ10mm,φ20mm,φ45mm）
φ10mm吸盤(pán)（可載基片最小φ10mm 最大φ20mm）
φ20mm吸盤(pán)（可載基片最小φ20mm 最大φ47mm）
Φ45mm吸盤(pán)（可載基片最小φ47mm 最大φ55mm）

2. 轉(zhuǎn)速范圍：99-12000RPM 3. 轉(zhuǎn)速分辨率： 1RPM

4. 加速可調(diào)范圍：99-10000RPM 5. 最大單步步長(zhǎng)：4000S

6. 時(shí)間分辨率：0.1S 7. 操控方式：7寸觸摸屏

8. 單步或多步運(yùn)行可選，最多可設(shè)置5組5步程序

9. 減速可調(diào)范圍：300-3000RPM

10. 真空輸入：0.06-0.09Mpa，真空流量最小15L/Min

11. 真空接口：設(shè)備后面板出口外徑6mm

12. 電源輸入：220V 150W

13. 外形尺寸：335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)