SJ-401三豐粗糙度儀

三豐粗糙度儀SJ-401測(cè)量范圍

X 軸(檢出部) 25mm 50mm

Z 軸(檢出部) 800μm、80μm、8μm

* 選配測(cè)頭大可到2,400μm

三豐粗糙度儀SJ-401檢出器

三豐粗糙度儀SJ-401檢出方式差動(dòng)電感方式

三豐粗糙度儀SJ-401分辨率

0.01μm(800μm 范圍)

0.001μm(80μm 范圍)

0.0001μm(8μm 范圍)

測(cè)頭尖形狀(角度/ 半徑) 60o/2μm 90o/5μm 60o/2μm 90o/5μm

測(cè)力0.75mN 4mN 0.75mN 4mN

彎曲半徑40mm

檢測(cè)方法無(wú)軌式/ 有軌式(切換)

驅(qū)動(dòng)部(X 軸)

測(cè)量速度0.05、0.1、0.2、0.5、1.0mm/s

驅(qū)動(dòng)速度0.5、1、2、5mm/s

直線(xiàn)度0.3μm / 25mm 0.5μm / 50mm

上下傾斜單元

上下移動(dòng)量10mm

傾斜角度±1.5o