Certas WING 化學氣體干法刻蝕機

“Certas WING"設計用于加工300mm晶圓，是Certas的代系統(tǒng)。這是一種 ，高產(chǎn)量的氣體化學蝕刻系統(tǒng)，可以在不使用清洗液的情況下進行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比，已經(jīng)干燥的處理單元不使用化學品，不需要昂貴的廢物處理設備，并且具有改進的可維護性。它了水印，并提供了各種氧化膜蝕刻的選擇比例，細微的界面清潔控制，與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時具有更高的靈活性。它支持從批量生產(chǎn)到下一代開發(fā)的廣泛應用。

特征
的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學品預處理

新的腔室設計實現(xiàn)了高吞吐量（大約兩倍）和小占用空間

無等離子處理可實現(xiàn)耗材的高正常運行時間和低成本

應用
氧化硅膜的蝕刻和回蝕

硅觸點預清洗