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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),地礦,電子 |
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| 電阻率： | 10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； |
是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
產(chǎn)品分類品牌分類
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氧化還原電位（ORP）溫度測定儀 液位計(jì) 流量計(jì) 比色器 人劑量報(bào)警儀 濃度儀 二氧化氯測試儀 臭氧測試儀 水分速測儀 取土鉆 氣壓表 水質(zhì)透明度盤 采泥器 純水蒸餾器 抽濾裝置 水質(zhì)硫化物-酸化吹氣儀 酸度 堿度測定儀 有機(jī)類測定儀 無機(jī)鹽測定儀 溶氧儀 重金屬檢測儀 錳離子檢測儀 CODMn測定儀 氮吹儀 二氧化硅檢測儀 余氯檢測儀 碳酸氫根檢測儀 COD消解器 菌落計(jì)數(shù)器 水中臭氧檢測儀 水質(zhì)取樣器 ATP檢測儀 農(nóng)村飲水安全檢測儀 水產(chǎn)養(yǎng)殖測定儀 BOD檢測儀 總磷檢測儀 氨氮測定儀 COD檢測儀 水質(zhì)硬度檢測儀 PH/ORP檢測儀 細(xì)菌過濾器 便攜式色度測定儀 電導(dǎo)率分析儀 PH計(jì) 濁度計(jì) 水質(zhì)色度儀 水質(zhì)尿素測定儀
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
RTS-8數(shù)字式四探針測試儀
是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-8數(shù)字式四探針測試儀技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；
電阻：10-5～105 Ω；
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測量最大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
測試模式 可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配） 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射；
配置 四探針測試儀主機(jī)、探針臺、四探針探頭