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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

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一鍵3d輪廓測量儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:SuperView W系列

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質:生產商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2024-05-12 10:37:22瀏覽次數:1344次

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產地類別 國產 產品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應用領域 生物產業(yè),能源,航天,汽車,綜合
SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究,也可以用于工業(yè)產品的檢測。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有測量晶圓翹曲度的功能。

SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究,也可以用于工業(yè)產品的檢測。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有測量晶圓翹曲度的功能。


新建項目3.jpg


性能特色

1、高精度、高重復性

1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;

2)*的隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得*的測量重復性;

2、一體化操作的測量分析軟件

1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;

2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;

4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能;

6)可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。


SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。


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部分參數

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性:0.1nm

表面形貌重復性:0.1nm

臺階測量:重復性:0.1% 1σ;準確度:0.75%


SuperView W系列輪廓測量儀能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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