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幾種常見(jiàn)的近紅外光譜儀
一、濾光片型微型近紅外光譜儀
濾光片型微型近紅外光譜儀按照濾光片類型又可分為基于可調(diào)諧濾光片型光譜儀和基于線性濾光片型光譜儀?？烧{(diào)諧濾光片型微型近紅外光譜儀本質(zhì)是法布里-珀干涉儀：由上下鏡和一個(gè)介質(zhì)層（諧振腔）構(gòu)成，通過(guò)對(duì)上下鏡施加靜電驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)調(diào)節(jié)諧振腔厚度，實(shí)現(xiàn)連續(xù)可調(diào)濾波。線性濾光片型微型近紅外光譜儀的基本原理則是通過(guò)錐形腔層的厚度變化進(jìn)行快速分光。其基本元件分別為可調(diào)諧法布里-珀羅濾光片和線性漸變?yōu)V光片
二、色散型微型近紅外光譜儀
色散型微型近紅外光譜儀主要通過(guò)光柵分光，其中包括通過(guò)改變光柵角度進(jìn)行色散，并通過(guò)單元探測(cè)器依次獲取光譜不同波段信息的掃描光柵型微型近紅外光譜儀，和通過(guò)采用陣列檢測(cè)器直接獲取光柵不同波段光譜信息的陣列檢測(cè)型微型近紅外光譜儀。其中光柵掃描型微型光譜儀的核心元件是掃描光柵。入射光經(jīng)光纖進(jìn)入、準(zhǔn)直后，掃描光柵不斷改變角度，將光色散后成像，依次通過(guò)狹縫被單管探測(cè)器收集。
三、調(diào)制型微型近紅外光譜儀
傅里葉變換型微型近紅外光譜儀
傅里葉變換型微型光譜儀基于傅里葉變換和光的干涉原理，屬于調(diào)制變換型光譜儀，又細(xì)分為：空間調(diào)制傅里葉變換微型近紅外光譜儀和時(shí)間調(diào)制傅里葉變換微型近紅外光譜儀。前者的核心元件為層狀光柵干涉儀，通過(guò)光柵空間位置的改變得到光程差序列，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)干涉信號(hào)空間調(diào)制。后者的核心元件為邁克爾遜干涉儀，由驅(qū)動(dòng)器控制反射鏡的空間運(yùn)動(dòng)，以獲得不同時(shí)間上的干涉調(diào)制圖，再利用單管探測(cè)器對(duì)干涉光進(jìn)行探測(cè)后再經(jīng)傅里葉變換得到光譜信號(hào)。
四、其他微型近紅外光譜儀
基于MOEMS與MEMS技術(shù)的微型近紅外光譜儀
微光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）與微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）基于半導(dǎo)體微加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)器件微型化，基于該技術(shù)制作的微型光譜儀體積小、測(cè)量準(zhǔn)、掃描快、低成本、高靈敏，也是近年來(lái)的研究熱點(diǎn)。
五、新材料微型近紅外光譜儀
除了以上幾種常見(jiàn)的微型近紅外光譜儀，還有一些使用新材料研制的微型光譜儀。