等離子清洗機(jī)VP-R手動(dòng)版補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)短板，13.56MHz物理與化學(xué)處理兼?zhèn)?，適用于PDMS鍵合，石墨烯粉末清洗，硅材料親水性處理和高分子材料粘接等。

產(chǎn)品特性：

1.BetterReliability，Better Operation

• 內(nèi)置一路通入氣體，無(wú)需再搭配氣體混合儀

• 簡(jiǎn)易、智能化設(shè)計(jì)，避免誤操作

• 采用數(shù)字顯示壓力，實(shí)時(shí)觀察腔體壓力變化情況

• 手動(dòng)控制，人機(jī)界面友好

• 清洗結(jié)束，旋鈕泄壓

• 泄壓時(shí)長(zhǎng)和大小可調(diào)，可通入氮?dú)庑箟?/span>

• 清洗功率高、中、低三擋可調(diào)

2.補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)空白

• 柔性電極輸出13.56MHz頻率用于等離子清洗

• 性能比肩一線廠家，在控制自動(dòng)化，人性化設(shè)計(jì)方面前列

• 腔體低溫，運(yùn)行時(shí)腔體溫度小于32°C

• 13.56MHz物理作用和化學(xué)作用俱佳

• 等離子體從腔體向四周發(fā)出，對(duì)樣品整個(gè)表面處理更*

• VP-R手動(dòng)版與薄膜、玻璃基片和石墨烯等離子處理比對(duì)情況

3.質(zhì)量可靠，細(xì)節(jié)決定

• 石英材質(zhì)腔體，保證腔體更加潔凈，更適合清潔度高材料

• 國(guó)內(nèi)真空泵，保證腔體真空度穩(wěn)定，等離子清洗強(qiáng)度更強(qiáng)

• 306不銹鋼卡扣，比普通鋁制卡扣更耐用，接口氣密性更好

• 1.5米不銹鋼波紋管，比橡膠更耐用，密封性更好

• 高硼硅圓形托盤(pán)，避免樣品二次污染

4.經(jīng)典清洗案例分析

• 石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì)增加石墨烯表面親水基團(tuán)（-OH）提高親水性

• 金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污

• PDMS等離子清洗，改變表面性質(zhì)，提高粘接能力

• 橡膠親水性處理

• 薄膜等離子處理

技術(shù)規(guī)格：

型號(hào) ：VP-R手動(dòng)版

腔體材質(zhì)：石英玻璃

腔體容量：2L

內(nèi)腔尺寸：Φ100x200Lmm

功率：160W

射頻頻率：13.56MHz

RF放射：無(wú)

頻率偏移量：小于0.2KHz

等離子體轟擊：從四周向中間

腔體溫度：滿(mǎn)功率運(yùn)行30分鐘腔體溫度＜32℃

清洗時(shí)間：手動(dòng)設(shè)置

功率調(diào)節(jié)：高、中、低三擋

顯示屏：無(wú)

操作控制：手動(dòng)控制

氣體流量計(jì)：無(wú)

提供進(jìn)氣氣路：一路進(jìn)氣，進(jìn)氣量可調(diào)

進(jìn)氣管：一根

泄壓：手動(dòng)開(kāi)關(guān)泄壓，泄壓速度可調(diào)

極限真空度：5x10﹣2Pa

抽速：8m3/h

噪音：≤56dB

抽真空時(shí)間：?jiǎn)?dòng)到發(fā)出輝光≤35秒（時(shí)間可調(diào)）

真空檢測(cè)：無(wú)

冷卻方式：風(fēng)冷

腔體門(mén)：高強(qiáng)度鋁合金

真空泵控制：主機(jī)與真空泵聯(lián)動(dòng)

供電電源：AC220V/50Hz

箱體平衡：減震橡膠腳杯

外形尺寸(LxWxH)：420x420x320mm

等離子清洗機(jī)VP-R手動(dòng)版訂購(gòu)信息：

標(biāo)準(zhǔn)配置 ：主機(jī)、真空泵、1.5米波紋管、清洗托盤(pán)、電源線、說(shuō)明書(shū)、合格證、保修卡、提供一路進(jìn)氣管

選配件：1、微量控氣閥（清洗粉末適用）2、高硼硅圓形托盤(pán)  3、安捷倫干式真空泵，防止油氣揮發(fā)（高潔凈實(shí)驗(yàn)室適用）