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作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）。
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
PARKER派克隔膜閥產(chǎn)品描述：
作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）。
派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動(dòng)或氣動(dòng)操作。這兩個(gè)選項(xiàng)都是內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)，這使顆粒產(chǎn)生和捕獲更小化，從而減少了過程污染。閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片的應(yīng)力，提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。該閥還具有壓縮構(gòu)件，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作。
945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造，以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門本體是由Veriflo的的內(nèi)部電解拋光316L不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成。膜片是一種高強(qiáng)度鈷基合金。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項(xiàng)中選擇，這允許945系列用于廣泛的危險(xiǎn)和惰性工藝流體。這些材料，結(jié)合閥門嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，在工作壓力高達(dá)3500 psig時(shí)，具有很高的耐腐蝕性和優(yōu)良的穩(wěn)定性。氣動(dòng)選項(xiàng)可以配置為提供具有限位開關(guān)的開閉位置指示。
945個(gè)系列不銹鋼隔膜閥門都是在100級(jí)潔凈室制造的。內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質(zhì)譜儀氦氣泄漏測試，以實(shí)現(xiàn)在要求UHP超高純應(yīng)用環(huán)境的使用性能和穩(wěn)定性。
PARKER派克隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢：
• 在管材上加工，這允許改進(jìn)尺寸控制。
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度
• 高循環(huán)壽命（包括腐蝕性應(yīng)用工況）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲更小
• 全功能化設(shè)計(jì)從真空到300psig可用
• 內(nèi)部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開常關(guān)氣動(dòng)AOP執(zhí)行壓力（大值）
PARKER派克隔膜閥典型應(yīng)用：
• 腐蝕性和特殊性氣體
• 半導(dǎo)體設(shè)備
• 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管
• 氣體控制柜
• 閥門分配箱系統(tǒng)（VMB）
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