康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵
半導(dǎo)體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著，為能滿足客戶對產(chǎn)品和工藝快速不斷變化的需求，我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。
真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用，針對特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。

康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵

產(chǎn)品發(fā)展設(shè)計和生產(chǎn)

許多年來，萊寶公司一直對于真空技術(shù)基礎(chǔ)的研究和發(fā)展大量投入，總投入已達到我們總收入的10%，這也是萊寶能提供頗具有吸引力新型真空產(chǎn)品的重要原因。

發(fā)展新技術(shù)的過程中，萊寶不僅以產(chǎn)品的實際應(yīng)用為導(dǎo)向，而且更加關(guān)注產(chǎn)品的整體質(zhì)量。所有的泵及其附件在開發(fā)階段，必定經(jīng)過特殊的壓力與持久性測試。萊寶與萊寶所有供應(yīng)商的生產(chǎn)過程，都處于持續(xù)監(jiān)控之中，以保證任何可能出現(xiàn)的產(chǎn)品缺陷都將在早期生產(chǎn)階段被檢測并及時消除。

SOGEVAC

主要技術(shù)參數(shù)

抽速：10立方米每小時～1400立方米每小時

極限真空度：

SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B極限真空度為

<0.5mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)

<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)

SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的極限真空度為

<8×10負二次方mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)

<7×10負一次方mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)

排水蒸氣能力：0.3～23公斤/小時

 

康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵

 

主要特點有

1、*的排除水蒸氣的能力。

2、出口油霧過濾器為標(biāo)準配置，真空泵油循環(huán)使用，無油煙，清潔、環(huán)保、省油。

3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。

4、在低壓強下仍能保持高的抽速。

5、內(nèi)置自動防返油閥。

6、SV630以下為風(fēng)冷，不需要水冷，經(jīng)濟方便。

7、低噪音，低振動。

8、結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。

9、可以與各種附件配套使用，因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。

SOGEVAC-B

 

主要技術(shù)參數(shù)為：

抽速?1.6m3/h?65m3/h

極限真空度?10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓強) 2×10-3mbar(無氣鎮(zhèn)全壓強) 5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強) 耐水蒸汽能力?25mbar?40mbar

歐瑞康萊寶的TRIVAC B系列雙級油封旋片泵的主要特點?

1、內(nèi)置油泵?對泵腔進行強制潤滑。因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下連續(xù)工作。

2、內(nèi)置自動防返油閥?可在停泵時自動將進氣口截止?防止返油。

3、進氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。

4、*的耐水蒸汽能力。

另外?歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。 -

（1）專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。 -

（2）用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX?ATEX認證防爆泵。 -

（3）用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。