溫控模塊

冷熱方式

液氮致冷，電阻加熱

溫控范圍

-190～600℃ *

溫度穩(wěn)定性

±0.1℃ *

溫度分辨率

0.1℃

升降溫速率

0~30℃/min（可定點   / 程序段控溫）

溫控方式

PID

溫度傳感器

PT100 

光學特性

光路

反射光路 *可升級為透射光路

視窗材質(zhì)

石英玻璃   *

視窗尺寸

Φ25mm *

物鏡工作距離

12.5mm *

透光孔

默認無透光孔   *可升級透光孔

視窗除霜

負溫下吹氣除霜

電學特性

探針

電控位移探針x2   *

探針接口

BNC接口x2 *

樣品臺面電位

默認電懸空   *可選電接地

結構特性

樣品臺尺寸

23×23mm *

樣品臺材質(zhì)

銀質(zhì)   *

外形尺寸

110×170×45mm *

樣品腔高度

10.5mm *

XYZ位移行程

±6mm

探針位移精度

5nm

腔室

氣密   *可升級真空

基本配置

電控探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、循環(huán)水系統(tǒng)x1（高溫配置）、連接管路若干

選配

電腦主機/安裝支架/真空系統(tǒng)/三同軸BNC/定制溫控軟件

備注

以上均為默認參數(shù)    * 為可定制項