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GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)

閱讀:128      發(fā)布時(shí)間:2022-03-17
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GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)

 

關(guān)鍵詞:高低溫探針臺(tái),半導(dǎo)體,光電,吉時(shí)利

探針臺(tái).png

 

GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于I-V/C-V,PIV測(cè)試,傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電子樣品測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,可以配合Keithley,Tektronix等國(guó)內(nèi)外各種源表對(duì)材料進(jìn)行測(cè)試,可以做材料的介電,鐵電等測(cè)試,是目前高等院校和研究所及材料生產(chǎn)單位的重要輔助設(shè)備。

  GDWT-480型自動(dòng)型真空高低溫探針臺(tái)該探針臺(tái)尺寸高達(dá)59x59MM,不銹鋼臺(tái)面設(shè)計(jì),可以達(dá)到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設(shè)計(jì)具備進(jìn)氣口和抽真空接口,三軸移動(dòng)探針臂保證X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè).

主要特點(diǎn):

1、溫度可以從-190-350

2、探針不需要打算開(kāi)觀察窗口,可以通過(guò)X/Y/Z三軸移動(dòng)調(diào)節(jié)探針,

3、可以配真空,氣氛等多種功能。

4、三軸調(diào)節(jié)范圍:其中X方向0-28mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-18mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-18mm;

主要技術(shù)參數(shù):

 

真空腔體

內(nèi)腔尺寸

φ160x90mm標(biāo)準(zhǔn) 

觀察窗尺寸

Φ70mm 

樣品臺(tái)尺寸

Φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

74mm

加熱臺(tái)溫度

-190-350℃

加熱臺(tái)溫控精度

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-5Pa

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ  介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm其他多種可選0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米

制冷

液氮/液氦/制冷機(jī)

探針移動(dòng)平臺(tái)

X-Y-Z移動(dòng)行程

30mm*25mm *25mm    

結(jié)構(gòu)

真空波紋管結(jié)構(gòu),精密三軸控制探針

精度

≤0.01mm 

漏電精度

10pA,100fA,10fA

接頭類型

BNC/三軸/鱷魚(yú)夾/香蕉頭/接線端子

頻率支持

DC-67GHZ

針尖直徑

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡(可以選配)

物鏡倍數(shù)

0.6-5.0(可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行選配)

工作間距

85mm

相機(jī)

sony 高清

像素

200萬(wàn)/500萬(wàn)/1200萬(wàn)

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

9

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

可選附件

光學(xué)平臺(tái)


屏蔽箱


光電測(cè)試配件


高壓測(cè)試配件


激光系統(tǒng)


氣敏測(cè)試系統(tǒng)


 


提供商

北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

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