Filmetrics 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x
依靠 F60 的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖?，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。 在約 45 秒的時(shí)間就可以掃描完標(biāo)準(zhǔn) 49 點(diǎn)分布圖

F60薄膜厚度測(cè)量?jī)x

 

生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)測(cè)繪

Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長(zhǎng)范圍加以區(qū)分。 較短的波長(zhǎng) (例如， F60-t-UV) 一般用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)

• 桌面式薄膜厚度測(cè)量

• 24小時(shí)電話，郵件和在線支持

• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件

附加特性

• 嵌入式在線診斷方式

• 免費(fèi)離線分析軟件

• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果