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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
ICP 感應耦合等離子體反應室示意圖
感應耦合等離子體（ICP）相關產(chǎn)品
主要特點：
- 分開的感應耦合等離子體的射頻發(fā)生器和電極的射頻發(fā)生器提供了對離子能量和離子密度的分別控制
- 高傳導率的氣泵端口為zui快的刻蝕速率提供高的氣量
- 靜電屏消除了電容耦合，減小了對器件的電損傷，減少了反應室的顆粒
- 牛津儀器的ICP工具包括標配的晶片夾具和氦氣冷卻，在一個廣泛、可選的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)異的溫度控制
ICP優(yōu)點：
- 通過高的離子密度（>1011 cm3）和高的基團密度可以獲得高的刻蝕速率
- 通過低的離子能量能夠獲得對選擇比和損傷的控制
- 對感應耦合等離子體和電極射頻的分別控制提供了高的工藝靈活性
- 化學的和離子誘導的刻蝕
- 為了某些低刻蝕速率的應用，也可以以感應離子刻蝕的模式運行
- 可以用于以感應耦合等離子體-化學氣相沉積模式進行沉積，提供：
- 比等離子體增強化學氣相沉積的溫度低的條件下沉積致密的薄膜
- 在溫度敏感的襯底上進行低損傷的沉積
本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復合氣體檢測儀 現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀
TN3紅外測溫儀 fluke 59mini紅外測溫儀 照度計 CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測儀 HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計 FD216測氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計
HGY2018在線PH計 RE5299 旋轉蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200（P）空氣消毒機
YSI85-10 手提式野外水質測量儀 DO200在線溶解氧測定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質檢測儀 3M6800防毒面罩 美國華瑞PGM-2400 四合一復合式氣體檢測儀 YSI3100 電導率儀 HT10S煙氣黑度照相測定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測儀 AD102農(nóng)藥檢測卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計
PRM-3040射線檢測儀 美國MSA 10108311歐特防護眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計 GM1357聲級計
PGM-7840復合氣體檢測儀 GDYS-102SJ尿素測定儀 GDYS-101ST鐵測定儀
GDYS-101SC2臭氧測定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測儀（10通道）
GDYS-101SC2臭氧測定儀 D3A激光測距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復合氣體檢測儀 PGM-6208 6合一氣體檢測儀 FGM-1100 IR 可燃氣在線監(jiān)測儀
PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃氣體報警儀
| Feature | ICP65 | ICP180-100 | ICP380-100 | ICP380-133 |
| 電極尺寸 | 直徑240mm 中間50mm直徑區(qū)域等離子體均勻 | 直徑240mm | 直徑240mm | 直徑330mm |
| 進樣 | 手動 | 真空進樣 | 真空進樣 | 真空進樣 |
| 襯底 | 50mm
| 150mm，可以選擇多片或小片的載片臺 | 200mm，可以選擇多片或小片的載片臺 | 330mm，可以選擇多片或小片的載片臺 |
| 摻雜劑 | 不能 | 可以，為ICP-CVD選擇 | 可以，為ICP-CVD選擇 | 可以，為ICP-CVD選擇 |
| 質量流量計控制的氣體管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 |
| 載片臺溫度范圍 | -150 to 400ºC | -150 to 400ºC | -150 to 400ºC | -150 to 350ºC |
| 在位等離子體清洗 | 可以，取決于沉積的材料 | 可以，取決于沉積的材料 | 可以，取決于沉積的材料 | 可以，取決于沉積的材料 |
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